Solid CVD SILICON CARBIDE vaega ua lauiloa o le filifiliga muamua mo mama RTP / EPI ma faavae ma plasm aetch cavity vaega o loʻo faʻaogaina i le maualuga o le manaʻomia o le vevela (> 1500 ℃), o manaʻoga mo le mama e sili ona maualuga (> 99.9995%) ma o le faatinoga e sili ona lelei pe a maualuga le tetee i vailaʻau. O nei mea e le o iai ni vaega lona lua i le pito o saito, o lea o latou vaega e maua ai ni vaega laiti nai lo isi mea. E le gata i lea, o nei vaega e mafai ona faʻamamaina e ala i le faʻaogaina o le HF / HCl vevela ma sina faʻaleagaina, e mafua ai le itiiti ifo o vaega ma le umi o le auaunaga.
