Semicera o loʻo tuʻuina atu tu ma aga maualugafoe fa'alava fa'amea fa'asilikonifaia e siitia ai faiga semiconductor gaosiga. Le fouSiC foeO le mamanu e mautinoa ai le tumau ma le maualuga o le vevela, ma avea o se vaega taua mo le taulimaina o le wafer i le luʻitau o siosiomaga vevela maualuga.
O leFoe Silicon carbideua fausia ina ia tetee atu i taamilosaga vevela ogaoga aʻo faʻamautu le faʻatulagaina o le faʻamaoni, faʻamautinoa le faʻatuatuaina o felauaiga wafer i taimi taua o le gaosiga semiconductor. Faatasi ai ma le malosi faʻainisinia sili atu, leneiva'a apafa'aitiitia le lamatiaga o le fa'aleagaina o wafers, e o'o atu ai i le maualuga o fua ma le lelei o le gaosiga.
O se tasi o mea fou fou i le Semicera's SiC paddle o loʻo taoto i ana filifiliga mamanu masani. Fa'apena e fa'amalieina mana'oga fa'apitoa o le gaosiga, o le foe e ofoina atu le fetuutuuna'i i le tu'ufa'atasia ma seti meafaigaluega eseese, ma avea ai ma fofo lelei mo faiga fa'aonaponei. O le mama ma le malosi o le fausiaina e mafai ai ona faigofie le taulimaina ma faʻaitiitia le taimi faʻagaioiga, fesoasoani i le faʻaleleia atili o le gaosiga o semiconductor.
I le faaopoopo atu i ona uiga vevela ma masini, o leFoe Silicon carbideofo atu fa'ato'aga fa'ama'i sili ona lelei, fa'ataga e fa'atino fa'atuatuaina e o'o lava i si'osi'omaga fa'ama'i leaga. O le mea lea e fa'apitoa ai le fa'aogaina i faiga e aofia ai etching, deposition, ma le maualuga-vevela togafitiga, lea o le tausisia o le fa'amaoni o le va'a wafer e taua tele mo le fa'amautinoaina o galuega maualuga.
Mea fa'aletino o le Silicon Carbide ua toe fa'akrista | |
Meatotino | Taua masani |
vevela galue (°C) | 1600°C (faatasi ai ma le okesene), 1700°C (faaitiitia le siosiomaga) |
SiC anotusi | > 99.96% |
Free Si anotusi | < 0.1% |
Fa'atosina tele | 2.60-2.70 g/cm3 |
E aliali mai le porosity | <16% |
Malosi fa'amalosi | > 600 MPa |
Malosi punou malulu | 80-90 MPa (20°C) |
Malosi o le punou vevela | 90-100 MPa (1400°C) |
Fa'ateleina le vevela @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Fa'avevela vevela @1200°C | 23 W/m•K |
Fa'aula'i fa'alava | 240 GPa |
Tete'e te'i vevela | Lelei tele |