Va'a Isostatic PECVD Graphite

Isostatic PECVD Graphite Boat Ata Fa'aalia

Fa'amatalaga Puupuu:

Isostatic PECVD graphite vaʻa o loʻo faʻaaogaina lautele i fesoʻotaʻiga eseese o le gaosiga o le semiconductor, e pei o le polysilicon film deposition, oxide film deposition, nitride film deposition, ma isi. O lona faʻatinoga sili ona lelei e avea ai ma se taʻavale wafer lelei i le faagasologa o le PECVD.

Auina imeli ia matou

Fa'amatalaga Oloa

Faailoga o oloa

SEMICERA isostatic PECVD graphite vaʻa o se oloa graphite maualuga-mama, maualuga-density fuafuaina mo wafer lagolago i le PECVD (plasma enhanced vapor vapor deposition) faagasologa. E fa'aogaina e le SEMICERA le fa'atekonolosi fa'atekonolosi e fa'amautinoa ai o le va'a graphite e sili atu le maualuga o le vevela, tete'e o le corrosion, tulaga mautu ma le lelei o le vevela, o se mea taua tele i le gaosiga o le semiconductor.

SEMICERA isostatic PECVD graphite vaʻa ei ai tulaga lelei nei:

▪ Mamaa maualuga: O mea o le graphite e maualuga le mama ma maualalo le le mama i totonu e aloese ai mai le faaleagaina o luga o le wafer.

▪ Maualuluga: Maualuluga maualuga, malosi faʻainisinia maualuga, e mafai ona tatalia le maualuga o le vevela ma le maualuga o le vacuum environment.

▪ Tulaga lelei: Suiga laiti i le vevela maualuga ina ia mautinoa le mautu o le faagasologa.

▪ E lelei tele le fe'avea'i o le vevela: Fa'aliliu lelei le vevela e puipuia ai le vevela tele.

▪ Malosi e tete'e i le pala: E mafai ona tete'e le tafia e ala eseese kasa ma le plasma.

Parakalafa fa'atinoga	semicera	SGL R6510	Parakalafa fa'atinoga
Ole tele (g/cm3)	1.91	1.83	1.85
Malosi o le punou (MPa)	63	60	49
Malosi fa'amalosi (MPa)	135	130	103
Maa'a o le matafaga (HS)	70	64	60
Coefficient o le faalauteleina o le vevela（10-6/K）	85	105	130
Coefficient o le faalauteleina o le vevela（10-6/K）	5.85	4.2	5.0
Tete'e (μΩm)	11-13	13	10

Tulaga lelei o le filifilia o matou:
▪ Filifiliga o meafaitino: E fa'aogaina mea graphite maualuga e fa'amautinoa ai le lelei o oloa.
▪ Fa'atekonolosi fa'agaoioiga: O lo'o fa'aoga Isostatic e fa'amautinoa ai le tele ma le tutusa o oloa.
▪ Fa'avasegaina o lapopo'a: Va'a graphite e eseese lapopo'a ma foliga e mafai ona fa'avasega e tusa ai ma mana'oga o tagata fa'atau.
▪ Togafitiga i luga: E tele auala eseese e togafitia ai luga, e pei o le faʻapipiʻiina o le silicon carbide, boron nitride, ma isi, e faʻafetaui ai manaoga eseese o le faagasologa.