Su'esu'ega talaaga
Fa'aoga taua o le silicon carbide (SiC): I le avea ai o se mea lautele semiconductor bandgap, silicon carbide ua tosina mai ai le tele o le gauai ona o le sili ona lelei o le eletise (e pei o le tele o fusi, maualuga atu le saoasaoa o le eletise ma le vevela). O nei meatotino e faʻaaogaina lautele i le maualuga-telefoni, maualuga-vevela ma le maualuga o le gaosiga o masini, aemaise lava i le tulaga o le eletise eletise.
Aafiaga o faaletonu tioata: E ui lava i nei tulaga lelei o le SiC, o faaletonu i tioata o loʻo tumau pea se faʻafitauli tele e faʻalavelaveina ai le atinaʻeina o masini maualuga. O fa'aletonu ia e ono fa'atupu ai le fa'aleagaina o le fa'atinoga o masini ma a'afia ai le fa'atuatuaina ole masini.
X-ray topological imaging technology: Ina ia faʻamalieina le tuputupu aʻe tioata ma malamalama i le aʻafiaga o faʻaletonu i luga o le faʻatinoga o masini, e tatau ona faʻamaonia ma auʻiliʻili le faʻaogaina o le faaletonu i tioata SiC. X-ray topological imaging (aemaise lava le faʻaogaina o faʻasalalauga faʻasalalau synchrotron) ua avea ma auala taua e faʻaalia ai e mafai ona maua ai ata maualuga o le fausaga totonu o le tioata.
Manatu su'esu'e
Fa'avae i luga ole fa'atekonolosi fa'ata'ita'iga o ave: O lo'o fa'ailoa mai e le tusiga le fa'aogaina ole fa'aogaina ole fa'aogaina ole fa'aogaina ole faiga fa'atusa e fa'ata'ita'iina ai le fa'atusatusaga o le fa'aletonu o lo'o va'aia i ata tonu o le X-ray topological. O lenei metotia ua faʻamaonia e avea o se auala aoga e suʻesuʻe ai meatotino o faaletonu tioata i semiconductors eseese.
Faʻaleleia atili o tekinolosi faʻataʻitaʻiga: Ina ia sili atu le faʻataʻitaʻiina o faʻalavelave eseese o loʻo matauina i tioata 4H-SiC ma 6H-SiC, na faʻaleleia ai e le au suʻesuʻe le faʻaogaina o le faʻaogaina o le faʻaogaina o le faʻaogaina o le faʻaogaina o le faʻaogaina o le faʻaogaina o le faʻaogaina o le faʻaogaina o luga ma le faʻaogaina o le photoelectric.
Su'esu'e mataupu
Su'esu'ega itū'āiga fa'aleaga: O lo'o iloilo fa'asolosolo e le tala le fa'avasegaina o ituaiga fa'a'ese'esega (e pei o le fa'a sikulima, fa'a'ese'ese pito, fa'afefiloi fa'afefiloi, va'alele va'alele ma Frank-type dislocations) i polytypes eseese o SiC (e aofia ai le 4H ma le 6H) e fa'aaoga ai le ave o le ave. tekinolosi fa'atusa.
Talosaga o Fetaui Siaki: O le faʻaaogaina o Ray o loʻo aliali mai ai Temeilani Faʻapitoa e pei o le le lelei o le loloto o le loloto o le faʻaaloʻaga.
Faʻatasiga o faʻataʻitaʻiga ma faʻataʻitaʻiga: I le faʻatusatusaina o faʻataʻitaʻiga faʻataʻitaʻiga maua X-ray topological ata ma ata faʻataʻitaʻiga, o le saʻo o le faʻataʻitaʻiga tekonolosi i le fuafuaina o le faʻaogaina o le ituaiga, Burgers vector ma le faʻasalalauga avanoa o faʻalavelave i le tioata e faʻamaonia.
Fa'ai'uga o su'esu'ega
Ole aoga o le faʻataʻitaʻi o le tekonolosi: O loʻo faʻaalia ai le suʻesuʻega o Ray Fetuunaiga o Shippic Social Shippess ma le le mautonu auala e faʻailoa ai mea e aoga ai.
3D su'esu'ega fa'avasegaina o fa'alavelave: E ala i fa'ata'ita'iga fa'atekonolosi, 3D dislocation fa'avasegaina su'esu'ega ma fua fa'atatau e mafai ona fa'atino, lea e taua tele mo le malamalama i le amio ma le fa'atuputeleina o fa'alavelave i le taimi o le tuputupu a'e tioata.
Talosaga i le lumana'i: Fa'atekonolosi fa'ata'ita'iga ole su'eina ole Ray e fa'amoemoe e fa'aoga atili ile topology maualuga-malosi fa'apea fo'i ile su'esu'ega fa'avae X-ray topology. E le gata i lea, o lenei tekinolosi e mafai foi ona faʻalauteleina i le faʻataʻitaʻiga o uiga faaletonu o isi polytypes (e pei o le 15R-SiC) poʻo isi mea semiconductor.
Aotelega Ata
Ata 1: Ata fa'ata'ita'i o fa'asologa o le synchrotron radiation X-ray topological imaging setup, e aofia ai felauaiga (Laue) geometry, fa'ata'ita'i fa'asolosolo (Bragg) geometry, ma fa'asologa o mea'ai. O nei geometries e masani ona faʻaaogaina e faʻamaumau ata topological X-ray.
Ata 2: Ata fa'ata'ita'i o fa'a'ese'esega fa'a-X o le vaega fa'aletonu o lo'o ta'atia le sikulima. O lenei ata o lo'o fa'amatalaina ai le sootaga i le va o le ave fa'alavelave (s0) ma le fa'alava fe'ese'esea'i (sg) fa'atasi ai ma le va'alele fa'alotoifale masani (n) ma le komi Bragg i le lotoifale (θB).
Ata 3: Fa'ata'ita'i i tua ata fa'ata'otoga X-ray o micropipes (MPs) i luga o le 6H-SiC wafer ma le fa'atusatusaga o se fa'asolo fa'asolo fa'atusa (b = 6c) i lalo o tulaga fa'a'ese'ese tutusa.
Ata 4: Micropipe paipa i se ata pito i tua o se ata 6H-SiC wafer. O ata o faipule tutusa e eseese avanoa ma sui faipule i itu faafeagai o loʻo faʻaalia i faʻataʻitaʻiga o ave.
Ata 5: Fa'ata'otoga o fa'a'ai X-ray fa'atusa ata o fa'a'ese'ese sikulima tapuni (TSDs) i luga o le 4H-SiC wafer o lo'o fa'aalia. O ata o lo'o fa'aalia ai le fa'atusatusaina o pito.
Ata 6: Fa'ata'ita'iga o le su'eina o Ray o le fa'atupuina o le vao X-ray ata o le lima agavale ma le lima taumatau 1c TSD i luga o le 4H-SiC wafer o lo'o fa'aalia.
Ata 7: Fa'ata'ita'iga fa'ata'ita'iga o Ray o TSDs i le 4H-SiC ma le 6H-SiC o lo'o fa'aalia, fa'aalia ai le fa'a'ese'esega fa'atasi ai ma Vectors eseese a Burgers ma polytypes.
Ata 8: Fa'aalia le fa'atupuina o le fa'ato'aga X-ray ata topological o ituaiga eseese o filo fa'a'ese'esega pito (TEDs) i luga o 4H-SiC wafers, ma ata TED topological fa'ata'ita'iina e fa'aogaina ai le auala e su'e ai ave.
Ata 9: Fa'aalia ata fa'afoma'i fa'afofoga o le X-ray o ituaiga TED 'ese'ese ile 4H-SiC wafers, ma le fa'atusatusaga TED fa'atusa.
Ata 10: Fa'aalia ata fa'ata'ita'iga fa'ata'ita'iga o fa'a'ese'esega filo fefiloi (TMDs) fa'atasi ai ma fa'ata'ita'iga fa'apitoa a Burgers, ma ata fa'ata'ita'i.
Ata 11: Fa'aalia ata pito i tua o le va'alele va'alele (BPDs) i luga o 4H-SiC wafers, ma le ata fa'ata'ita'i o le fa'atusa fa'atusa o le fa'a'ese'esega o le fa'a'ese'esega.
Ata 12: Fa'aalia ata fa'ata'ita'iga fa'ata'ita'iga o fa'ata'ita'iga fa'ata'ita'iga o le BPD fa'ata'ita'i lima taumatau ile loloto 'ese'ese ile va'aiga ile fa'amalieina ole luga ole a'afiaga ole fa'ato'ilaloina o ata.
Ata 13: Fa'aalia ata fa'ata'ita'iga o ave fa'ata'ita'iga o BPD fa'ato'a lima taumatau i loloto eseese, ma ata fa'ato'aga fa'a-X-ray.
Ata 14: Faʻaalia le ata faʻataʻitaʻiga o vaʻavaʻa vaʻavaʻa i soʻo se itu i luga o 4H-SiC wafers, ma pe faʻapefea ona fuafua le loloto o le faʻaogaina e ala i le fuaina o le umi o faʻataʻitaʻiga.
Ata 15: O le fa'atusatusaga o BPD ma 'ese'ese Vectors Burgers ma fa'atonuga laina ile fa'ata'otoga o fa'a'ai X-ray ata topological, ma fa'ai'uga fa'ata'ita'iga ole su'ega ave.
Ata 16: O le ata o le fa'ata'ita'iga o le fa'ata'ita'iga o le TSD i le lima taumatau i luga o le 4H-SiC wafer, ma o lo'o fa'aalia ai le fa'atupuina o le fa'ato'aga X-ray ata.
Ata 17: O le faʻataʻitaʻiga o le faʻataʻitaʻiga o le ave ma le faʻataʻitaʻiga o le TSD faʻafefe i luga o le 8 ° offset 4H-SiC wafer o loʻo faʻaalia.
Ata 18: Fa'ata'ita'iga fa'ata'ita'iga o ave o le TSD ma TMD fa'atasi ma vete Burgers 'ese'ese ae o lo'o fa'aalia le laina tutusa.
Ata 19: O le ata fa'ata'ita'iga o le fa'ata'ita'iga o le fa'ata'ita'iga o fa'a-Frank, ma le fa'ata'ita'iga fa'atatau o le fa'a'ai X-ray o lo'o fa'aalia.
Ata 20: O le faʻauluina paʻepaʻe paʻepaʻe X-ray ata topological o le micropipe i luga o le 6H-SiC wafer, ma o loʻo faʻaalia le ata faʻataʻitaʻiga o ave.
Ata 21: Fa'ata'ita'iga fa'aa'ai monochromatic X-ray ata topological o le fa'ata'ita'iga tipi axially o le 6H-SiC, ma le ata fa'ata'ita'iga fa'ata'ita'iga o le BPD o lo'o fa'aalia.
Ata 22: fa'aalia ata fa'ata'ita'iga fa'ata'ita'iga o le BPD i le 6H-SiC fa'ata'ita'iga tipi fa'ata'ita'i i tulimanu eseese.
Ata 23: o lo'o fa'aalia ai ata fa'atusa o le TED, TSD ma le TMD i le 6H-SiC fa'ata'ita'iga tipi fa'ata'ita'i i lalo ole fa'asologa o mea'ai.
Ata 24: faʻaalia ata X-ray topological o TSD faʻafefe i itu eseese o le laina isoclinic i luga o le 4H-SiC wafer, ma ata faʻataʻitaʻiga faʻataʻitaʻiga o ave.
O lenei tusiga e na'o le fefa'asoaa'i a'oa'oga. Afai ei ai se soliga, fa'amolemole fa'afeso'ota'i matou e tape.
Taimi meli: Iuni-18-2024