I le gaosiga o le semiconductor, o loʻo i ai se metotia e taʻua o le "etching" i le taimi o le gaosiga o se substrate poʻo se ata manifinifi na faia i luga o le meaʻai. O le atinaʻeina o tekinolosi etching na faia se sao i le iloaina o le valoʻaga na faia e le faʻavae Intel Gordon Moore i le 1965 e faʻapea "o le tuʻufaʻatasiga faʻatasi o transistors o le a faaluaina i le 1.5 i le 2 tausaga" (e masani ona taʻua o le "Moore's Law").
O le togitogiina e le o se faiga "faaopoopo" e pei o le teuina po o le fusia, ae o se faiga "toesea". E le gata i lea, e tusa ai ma auala eseese o le suʻeina, e vaevaeina i ni vaega se lua, e taʻua o le "susu susu" ma le "mago etching". I se faaupuga faigofie, o le muamua o se auala liusuavai ma le mulimuli o se auala eli.
I totonu o lenei tusiga, o le a matou faʻamatalaina faʻapuupuu uiga ma eseesega o tekinolosi etching taʻitasi, etching susu ma etching mago, faʻapea foʻi ma vaega faʻaoga e talafeagai ai.
Vaaiga lautele o le faiga etching
O tekinolosi etching ua fai mai na afua mai i Europa i le ogatotonu o le 15th seneturi. I lena taimi, na sasaa ai le acid i totonu o se ipu apamemea ua togitogia e faaleagaina ai le kopa e leai ni mea, ma fausia ai se intaglio. O auala e togafitia ai luga e faʻaaogaina ai aʻafiaga o le pala e lauiloa lautele o le "etching."
O le faʻamoemoega o le faʻagasologa o le etching i le gaosiga o le semiconductor o le tipiina lea o le substrate poʻo le ata i luga o le substrate e tusa ai ma le ata. E ala i le toe faia o laasaga sauniuni o le faʻatulagaina o ata, photolithography, ma le faʻapipiʻiina, o le fausaga o le planar ua faʻagasolo i se fausaga tolu-dimensional.
O le eseesega i le va o le susu susu ma le mago etching
A mae'a le fa'agasologa o ata, o le mea'ai fa'aalia e susu pe mago ua togitogi i se faiga etching.
E fa'aaoga e le togitogi susu se vaifofo e togi ma solo ese ai le pito i luga. E ui lava o lenei metotia e mafai ona faʻatautaia vave ma taugofie, o lona faʻaletonu o le faʻaogaina o le saʻo e laʻititi laʻititi. O le mea lea, na fanau mai etching mago i le 1970. Dry etching e le faʻaaogaina se fofo, ae faʻaaogaina le kesi e taia ai le substrate luga e valu ai, lea e faʻaalia i le maualuga o le gaosiga saʻo.
"Isotropy" ma le "Anisotropy"
Pe a faʻaalia le eseesega i le va o le susu ma le mago, o upu taua o le "isotropic" ma le "anisotropic". Isotropy o lona uiga o mea faitino o mea ma avanoa e le suia i le itu, ma o le anisotropy o lona uiga o mea faaletino o mea ma avanoa e fesuisuiai ma le itu.
Isotropic etching o lona uiga o le togitogiga e alu i le aofaʻi tutusa i se vaega patino, ma le anisotropic etching o lona uiga o le togitogiga e alu i itu eseese i se itu patino. Mo se faʻataʻitaʻiga, i le togitogiina i le taimi o le gaosiga o le semiconductor, e masani ona filifilia le anisotropic etching ina ia naʻo le faʻatonuga o loʻo vaʻaia, ma tuʻu ai isi itu e le atoatoa.
Ata o le "Isotropic Etch" ma le "Anisotropic Etch"
Fa'asusu susū fa'aaogā vaila'au.
E fa'aogaina e le fa'asusu susū se tali fa'a-kemikolo i le va o se vaila'au ma se mea'ai. Faatasi ai ma lenei metotia, e le mafai ona faia le anisotropic etching, ae sili atu le faigata nai lo le isotropic etching. E tele tapula'a i le tu'ufa'atasiga o vaifofo ma meafaitino, ma tulaga e pei o le vevela o le substrate, fa'aogaina o fofo, ma le aofa'i fa'aopoopo e tatau ona matua fa'atonutonuina.
E tusa lava po o le a le lelei o le fetuunaiga o tulaga, e faigata ona maua le faʻaogaina o le susu i lalo ole 1 μm. O se tasi o mafuaʻaga mo lenei mea o le manaʻoga e pulea le togiina o itu.
Undercutting o se fa'alavelave e ta'ua fo'i o le undercutting. E tusa lava pe faʻamoemoe o le a faʻamavaeina le mea i le itu saʻo (le loloto) e ala i le susu susu, e le mafai ona taofia atoa le fofo mai le taia o itu, o le mea lea o le faʻamavaeina o mea i le itu tutusa o le a faʻaauau pea. . Ona o lenei mea mata'utia, o le susū o le togitogiga fa'afuase'i e maua mai ai vaega e vaapiapi nai lo le lautele fa'atatau. I lenei auala, pe a gaosia oloa e manaʻomia ai le faʻatonutonu saʻo o le taimi nei, o le toe gaosia e maualalo ma e le faʻatuatuaina le saʻo.
Fa'aa'oa'oga o Fa'aletonu Fa'aletonu ile Etching Susū
Aisea e talafeagai ai le etching mago mo micromachining
Fa'amatalaga o Fa'ata'ita'iga Fa'atatau Fa'amago etching talafeagai mo anisotropic etching e fa'aaogaina i faiga fa'akomepiuta semiconductor e mana'omia ai le fa'agaoioiga maualuga. E masani ona taʻua le faʻamago faʻamago o le reactive ion etching (RIE), lea e mafai foi ona aofia ai le plasma etching ma sputter etching i se uiga lautele, ae o lenei tusiga o le a taulaʻi ile RIE.
Ina ia fa'amatala pe aisea e faigofie ai le fa'amamago o le anisotropic etching, se'i o tatou va'ava'ai toto'a ile faiga ole RIE. E faigofie ona malamalama e ala i le vaevaeina o le faagasologa o le etching mago ma solo ese le substrate i ni ituaiga se lua: "etching kemisi" ma "etching faaletino".
E tolu laasaga e fa'asolo ai vaila'au. Muamua, o kasa fa'afoliga o lo'o fa'apipi'iina i luga. E fa'atupu fa'amea fa'afoliga mai le kasa fa'afofoga ma mea fa'ameamea, ma fa'ai'u ai ua fa'a'ese'ese mea fa'afoliga. I le togitogiga fa'aletino mulimuli ane, o le mea'ai e togitogia fa'asaga i lalo e ala i le fa'aogaina o le kasa argon i luga o le mea'ai.
O le togitogiina o vaila'au e mafai ona tupu ile isotropically, a'o le etching faaletino e mafai ona tupu i le anisotropically e ala i le pulea o le itu o le faʻaogaina o le kesi. Ona o lenei etching faaletino, etching mago e mafai ai ona sili atu le pulea o le itu etching nai lo susu etching.
E mana'omia fo'i e le togitogi mago ma le susū ia tu'utu'uga ma'oti e pei o le togitogi susu, ae e maualuga atu le toe gaosia nai lo le togi susu ma e tele mea e faigofie ona pulea. O le mea lea, e leai se masalosalo o le etching mago e sili atu ona faʻaogaina i le gaosiga o pisinisi.
Aisea e mana'omia ai pea le togiina o susu
O le taimi lava e te malamalama ai i le faʻamago faʻamago e foliga mai e sili ona malosi, atonu e te mafaufau pe aisea o loʻo i ai pea le susu susu. Ae ui i lea, o le mafuaaga e faigofie: etching susu e taugofie ai le oloa.
O le eseesega tele i le va o le etching mago ma le susu etching o le tau. O vailaʻau o loʻo faʻaaogaina i le susu susu e le taugata tele, ma o le tau o meafaigaluega lava ia o loʻo fai mai e tusa ma le 1/10 o le masini etching mago. E le gata i lea, o le taimi o le gaosiga e puupuu ma e tele substrates e mafai ona faʻaogaina i le taimi e tasi, faʻaitiitia le tau o gaosiga. O le i'uga, e mafai ona tatou fa'amaualalo tau o oloa, ma maua ai se avanoa sili atu nai lo o tatou tagata tauva. Afai e le maualuga manaʻoga mo le faʻagaioiina saʻo, e tele kamupani o le a filifili susu susu mo le gaosiga tele.
O le faʻagasologa o le etching na faʻalauiloaina o se faʻagasologa o loʻo i ai se sao i le microfabrication tekinolosi. O le fa'agasologa o le etching e va'ava'ai va'ava'aia i le susū susū ma mago etching. Afai e taua le tau, e sili atu le muamua, ma afai e manaʻomia le microprocessing i lalo ole 1 μm, e sili atu le lelei. O le mea lelei, e mafai ona filifilia se faiga e faʻatatau i le oloa e gaosia ma le tau, nai lo le mea e sili atu.
Taimi meli: Apr-16-2024