O le pito i luma o le laina gaosiga e pei o le faataatiaina o le faavae ma le fausiaina o puipui o se fale. I le gaosiga o le semiconductor, o lenei laasaga e aofia ai le fatuina o fausaga faavae ma transistors i luga o se masini wafer.
Laasaga Autu ole FEOL:
1. Fa'amamaina:Amata i se masini manifinifi kakoni ma fa'amama e aveese ai so'o se mea leaga.
2. Fa'ave'esea:Fa'atupu se vaega o le silicon dioxide i luga o le wafer e vavae ese ai vaega eseese o le pu.
3. Photolithography:Fa'aoga photolithography e togi ai mamanu i luga o le wafer, pei o le tusia o ata i le malamalama.
4. Tusia:Aveese le silicon dioxide e le manaʻomia e faʻaalia ai mamanu manaʻomia.
5. Doping:Fa'aofia mea le mama i totonu o le silikoni e sui ai ona mea tau eletise, fa'atupu transistors, o poloka faufale autu o so'o se va'a.
Mid End of Line (MEOL): Feso'ota'i togi
Ole ogatotonu ole laina ole gaosiga e pei ole fa'apipi'iina o uaea ma paipa ile fale. O lenei laasaga e taulaʻi i le faʻavaeina o fesoʻotaʻiga i le va o transistors na faia i le tulaga FEOL.
Laasaga Autu ole MEOL:
1. Fa'a'ele'ele'ele'ele:Teuteu fa'amau fa'amama (e ta'ua o dielectrics) e puipui ai le transistor.
2. Fa'afeso'ota'i:Fausia fesoʻotaʻiga e faʻafesoʻotaʻi ai le transistors i le tasi ma le lalolagi i fafo.
3. Feso'ota'i:Fa'aopoopo ni fa'alava u'amea e fai ai ala mo fa'ailo eletise, e pei o le uaea o le fale e fa'amautinoa ai le leai o se fa'aogaina o le eletise ma le tafe o fa'amaumauga.
I'uga o le laina (BEOL): Fa'ai'u Pa'i
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O le pito i tua o le laina gaosiga e pei o le faʻaopoopoina o paʻi mulimuli i se fale-faʻapipiʻi mea faʻapipiʻi, valiina, ma faʻamautinoa e lelei mea uma. I le gaosiga o le semiconductor, o lenei laasaga e aofia ai le faʻaopoopoina o faʻamaufaʻailoga mulimuli ma le saunia o le pu mo le afifiina.
Laasaga Autu ole BEOL:
1. Fa'apipi'i u'amea Fa'aopoopo:Fa'aopoopo le tele o u'amea u'amea e fa'aleleia ai le feso'ota'iga, fa'amautinoa e mafai e le pu'upu'u ona taulimaina galuega lavelave ma le saoasaoa maualuga.
2. Pasivation:Fa'aoga ni mea puipui e puipui ai le pu mai fa'aleagaina o le si'osi'omaga.
3. Su'ega:Tu'u atu le pu i su'esu'ega faigata ina ia mautinoa e fetaui uma fa'amatalaga.
4. Tisua:'Oti'oti le fafie i ni meataalo ta'itasi, ua sauni ta'itasi mo le afifiina ma fa'aoga i masini fa'aeletoroni.
Taimi meli: Iul-08-2024