Le semiconductor alamanuia o loʻo molimauina le tuputupu aʻe e leʻi tupu muamua, aemaise lava i le malo ocarbide silikoni (SiC)eletise eletise. Faatasi ai ma le tele o mea tetelewaferfabs o loʻo fausiaina pe faʻalauteleina e faʻafetaui ai le faʻatupulaia o le manaʻoga mo masini SiC i taʻavale eletise, o lenei boom e maua ai avanoa ofoofogia mo le faʻatupulaia o tupe maua. Ae ui i lea, e aumaia ai foi luitau tulaga ese e manaʻomia ai ni fofo fou.
I le fatu o le faʻateleina o le gaosiga o le SiC i le lalolagi atoa o loʻo taoto ai le gaosiga o tioata maualuga SiC, wafers, ma epitaxial layers. iinei,semiconductor-grade graphiteo meafaitino e faia se sao taua, faʻafaigofie le tuputupu aʻe tioata SiC ma le faʻapipiʻiina o laupepa epitaxial SiC. O le fa'a'ese'esega fa'amalama a le Graphite ma le fa'alumaina ua avea ai ma mea e sili ona fiafia i ai, e fa'aaogaina tele i u'amea, fa'avae, tisiki paneta, ma satelite i totonu o le fa'atupu tioata ma le epitaxy system. Ae ui i lea, o tulaga faigata o le faagasologa o loʻo tulaʻi mai ai se luʻitau taua, e oʻo atu ai i le vave faʻaleagaina o vaega graphite ma mulimuli ane faʻalavelaveina le gaosiga o tioata maualuga SiC ma epitaxial layers.
O le gaosiga o tioata silicon carbide e aofia ai tulaga faigata tele, e aofia ai le vevela e sili atu i le 2000°C ma mea e sili ona pala. E masani ona i'u ai i le pala atoa o ko'a graphite pe a mae'a le tele o ta'amilosaga, ma fa'ateleina ai le tau o le gaosiga. E le gata i lea, o tulaga faigata e suia ai mea o loʻo i luga o le graphite vaega, faʻafefeteina le toe faʻaleleia ma le mautu o le gaosiga o gaioiga.
Ina ia faʻafetaui lelei nei luʻitau, ua tulaʻi mai tekinolosi faʻapipiʻi puipuia e avea o se suʻega taʻaloga. Lafu puipui e fa'avae i lugatantalum carbide (TaC)ua folasia e foia ai mataupu o le faaleagaina o vaega o le kalafi ma le le lava o le sapalai o le kalafi. O meafaitino TaC o lo'o fa'aalia ai le vevela o le liusuavai e sili atu i le 3800°C ma le fa'ateteleina o vaila'au. Fa'aaogāina o le fa'aogaina o ausa (CVD) tekonolosi,TaC coatingsfaatasi ai ma se mafiafia e oo atu i le 35 millimeters e mafai ona seamlessly teuina i luga o vaega graphite. O lenei mea puipui e le gata ina faʻaleleia ai le mautu o meafaitino ae faʻapena foi ona faʻalauteleina le umi o le ola o vaega graphite, faʻaitiitia ai le tau o gaosiga ma faʻaleleia le lelei o galuega.
Semicera, o se ta'ita'i e tu'uina atuTaC coatings, ua avea ma mea faigaluega i le faʻafouina o pisinisi semiconductor. Faatasi ai ma ana tekinolosi faʻaonaponei ma le le maluelue tautinoga i le lelei, Semicera ua mafai ai e le au gaosi semiconductor ona foia luitau ogaoga ma ausia tulaga fou o le manuia. E ala i le ofoina atu o le TaC coatings ma le le mafaatusalia le faatinoga ma le faatuatuaina, Semicera ua faʻamautuina lona tulaga o se paaga faʻalagolago mo kamupani semiconductor i le lalolagi atoa.
I le faaiuga, tekinolosi faʻapipiʻi puipuia, faʻamalosia e mea fou e pei oTaC coatingsmai Semicera, o loʻo toe faʻaleleia le laufanua semiconductor ma saunia le auala mo se lumanaʻi sili atu ona lelei ma gafataulimaina.
Taimi meli: Me-16-2024