Tala Fou - Fa'aleagaina o luga o le eleele ma lona auala e iloa ai

O le mama o leluga ole vaio le a matua a'afia ai le fua faatatau agavaa o faiga semiconductor mulimuli ane ma oloa. E oo atu i le 50% o gau uma o fua e mafua mai iluga ole vaifa'aleagaina.

O mea e mafai ona mafua ai suiga le pulea i le faʻaogaina o le eletise o le masini poʻo le gaosiga o masini e taʻua faʻatasi o mea leaga. O mea leaga e mafai ona sau mai le wafer lava ia, le potu mama, meafaigaluega fa'agaoioiga, vaila'au fa'agaoioiga po'o le vai.WaferE masani ona iloa le fa'aleagaina e ala ile va'aiga va'aia, su'esu'ega fa'agasologa, po'o le fa'aogaina o meafaigaluega fa'apitoa su'esu'e ile su'ega ole masini mulimuli.

▲ O mea fa'aleagaina i luga o le fa'a'ofu'ofu silikoni | Fesootaiga puna ata

O fa'ai'uga o su'esu'ega fa'aleagaina e mafai ona fa'aoga e atagia ai le maualuga ma le ituaiga o fa'aleagaina e feagai ma lewaferi se laasaga faʻapitoa, se masini faʻapitoa poʻo le faagasologa atoa. E tusa ai ma le faʻavasegaina o metotia suʻesuʻe,luga ole vaie mafai ona vaevaeina le faaleagaina i ituaiga nei.

Fa'aleagaina uamea

O le fa'aleagaina e mafua mai i u'amea e mafai ona mafua ai le faaletonu o masini semiconductor i tulaga eseese.
Alkali metals po'o alkaline earth metals (Li, Na, K, Ca, Mg, Ba, ma isi) e mafai ona mafua ai le leakage o le taimi nei i le fausaga pn, lea e oʻo atu ai i le gau gau o le oxide; u'amea suiga ma uamea mamafa (Fe, Cr, Ni, Cu, Au, Mn, Pb, ma isi) filogia e mafai ona faaitiitia le taamilosaga ola ave, faaitiitia le ola auaunaga o le vaega po o le faateleina o le taimi nei pogisa pe a galue le vaega.

O auala masani mo le su'esu'eina o le u'amea o le felafolafoa'i atoa o le X-ray fluorescence, atomic absorption spectroscopy ma inductively coupled plasma mass spectrometry (ICP-MS).

▲ Fa'aleaga i luga ole laiga | ResearchGate

O le fa'aleagaina o u'amea e mafai ona maua mai i mea fa'aoga e fa'aaogaina i le fa'amamāina, etching, lithography, deposition, etc., po'o masini fa'aaogaina i le fa'agasologa, e pei o ogaumu, reactors, ion implantation, ma isi, po'o le mafua mai i le fa'atamala o le tagofiaina o wafer.

Fa'aleagaina o pa'u

O le teuina o meafaitino e masani lava ona matauina e ala i le su'eina o le malamalama o lo'o salalau mai fa'aletonu i luga. O le mea lea, o le igoa fa'asaienisi e sili atu ona sa'o mo le fa'aleagaina o vaega o le fa'aletonu o le malamalama. O le fa'aleagaina o le pa'u e mafai ona mafua ai le poloka po'o le ufiufi o a'afiaga ile fa'agasolo ma le lithography.

I le taimi o le tuputupu aʻe o ata tifaga poʻo le faʻapipiʻiina, o pine ma microvoids e faʻatupuina, ma afai e lapopoa ma faʻatautaia ia mea, e mafai ona mafua ai ni taʻavale pupuu.

▲ Fa'atupuina o mea fa'aleaga | Fesootaiga puna ata

E mafai ona fa'atupu ata lafoia i luga ole la'asaga, e pei ole taimi ole ata. Afai o ni vaega tetele o lo'o i le va o le photomask ma le photoresist layer, e mafai ona fa'aitiitia le fa'ai'uga o le fa'afeso'ota'i.

E le gata i lea, e mafai ona latou poloka ions faʻavaveina i le taimi o le faʻapipiʻiina o le ion poʻo le faʻamago etching. E mafai fo'i ona fa'apipi'i ni fasimea i le ata, ina ia i ai ni patupatu ma ni patupatu. E ono ta'e pe tete'e fo'i fa'aputuga i nei nofoaga, fa'afitauli i le taimi e fa'aalia ai.

Fa'aletino

O mea fa'aleagaina o lo'o i ai le kaponi, fa'apea fo'i fausaga fa'apipi'i e feso'ota'i ma le C, e ta'ua o le fa'aleagaina o meaola. O mea fa'alenatura fa'aletino e mafai ona mafua ai mea fa'afuase'i hydrophobic i luga o leluga ole vai, fa'ateleina le talatala o luga, fa'atupuina se mea efuefu, fa'alavelave le tuputupu a'e o le epitaxial layer, ma a'afia ai le fa'amama o le fa'aleagaina o u'amea pe a le aveese muamua mea leaga.

O ia fa'aleaga luga e masani lava ona iloa e meafaigāluega e pei ole fa'avevelaina ole vevela MS, fa'ata'ita'iga o le ata o le ata o le X-ray, ma le fa'ailoga eletise eletise Auger.

▲Fesootaiga puna ata

Fa'aleagaina o le kasa ma le fa'aleagaina o le vai

O molelaula o le ea ma le fa'aleagaina o le vai ma le lapopo'a mole e masani lava ona le aveesea e le ea ma'ale'ale masani maualuga (HEPA) po'o le fa'amama ea ea (ULPA). O ia fa'ama'i e masani lava ona mata'ituina e ala i le ion mass spectrometry ma capillary electrophoresis.

O nisi o mea leaga e mafai ona aofia i le tele o vaega, mo se fa'ata'ita'iga, e mafai ona faia ni mea fa'aletino po'o mea fa'ameamea, po'o mea uma e lua, o lea e mafai fo'i ona fa'avasegaina lenei ituaiga o fa'ama'i i isi ituaiga.

▲Kasa mole kasa filogia | IONICON

E le gata i lea, e mafai foʻi ona faʻavasegaina le faʻamaʻiina o le mole mole, faʻamaʻi vaega, ma le faʻaogaina o otaota faʻasolosolo e tusa ai ma le tele o le puna faʻaleagaina. O le laʻititi o le lapopoa o le vaega faʻaleagaina, o le sili atu ona faigata ona aveese. I le gaosiga o mea fa'aeletoroni i aso nei, o le fa'amama fa'amama fa'amama e maua ai le 30% - 40% o le gaosiga atoa.