E faʻafefea ona matou gaosia-faʻagaioiga laasaga mo SiC substrates e faʻapea:
1. Fa'asinomaga Fa'a tioata:
Fa'aaogā le fa'aeseesega o le X-ray e fa'ata'atia ai le ingot tioata. A fa'asino atu se ave X-ray i foliga tioata e mana'omia, o le tulimanu o le fa'alava fa'aeseese e iloa ai le fa'asologa tioata.
2. Fa'ameamea i fafo:
O tioata ta'itasi e tupu a'e i graphite crucibles e masani ona sili atu i le lautele masani. O le oloina o le lautele i fafo e faʻaititia ai i latou i lapopoa masani.
3. Fa'ai'u mata olo:
4-inisi 4H-SiC substrates e masani ona lua tu'u pito, muamua ma lona lua. Fa'ai'uga olo olo e tatala ai pito fa'atulagaina.
4. Uaea va'aiga:
O le va'aiga uaea ose laasaga taua i le fa'agaioiina o mea 4H-SiC. O ta'eta'ei ma fa'aleagaina i lalo o le fogā'ele'ele fa'atupu a'o va'aiga uaea e a'afia ai fa'agasologa mulimuli ane, fa'alautele ai le taimi e fa'agasolo ai ma fa'aleagaina ai meafaitino. O le auala sili ona taatele o le va'aiga tele-uaea ma taimane abrasive. E fa'aaogaina se gaioiga fa'asolo o uaea u'amea o lo'o fa'apipi'iina i taimane abrasives e tipi ai le 4H-SiC ingot.
5. Fa'aleaga:
Ina ia puipuia le ta'ape pito ma fa'aitiitia le gau fa'aaogā i faiga fa'agasologa mulimuli ane, e fa'apipi'i pito ma'ai o mea meata'i uaea i foliga fa'apitoa.
6. Fa'amama:
O le ili uaea e tele ni maosiosia ma lalo o le eleele ua faaleagaina. O le fa'amama e fa'aaoga ai uili taimane e aveese ai nei fa'aletonu i le tele e mafai ai.
7. oloina:
O lenei faiga e aofia ai le olo talatala ma le olo lelei i le fa'aogaina o le boron carbide po'o taimane abrasives e aveese ai toega o mea leaga ma mea leaga fou na fa'aalia i le taimi o le manifinifi.
8. Faila:
O la'asaga mulimuli e aofia ai le fa'aiila talatala ma le fa'aiila lelei e fa'aaoga ai le alumina po'o le silicon oxide abrasives. O le vai fa'alelei e fa'amaluluina le pito i luga, lea e aveese fa'ainisinia e abrasives. O lenei laʻasaga e faʻamautinoa ai se mea lamolemole ma le le afaina.
9. Fa'amamaina:
Ave'esea o vaega, metals, oxide films, organic toega, ma isi mea leaga o lo'o totoe mai laasaga o gaioiga.
Taimi meli: Me-15-2024