E faʻafefea ona matou gaosia-faʻagaioiga laasaga mo SiC substrates e faʻapea:
1. Fa'asinomaga Crystal: Fa'aogaina o le fa'aeseesega o le X-ray e fa'asa'o ai le ingot tioata. A fa'asino atu se ave X-ray i foliga tioata e mana'omia, o le tulimanu o le fa'alava fa'aeseese e iloa ai le fa'asologa tioata.
2. Fa'ameamea i fafo: O tioata ta'itasi e ola i graphite crucibles e masani ona sili atu i le lautele masani. O le oloina o le lautele i fafo e faʻaititia ai i latou i lapopoa masani.
3. Fa'ai'u Mata Uli: 4-inisi 4H-SiC substrates e masani ona i ai le lua tulaga pito, muamua ma lona lua. Fa'ai'uga olo olo e tatala ai pito fa'atulagaina.
4. Vaila'au Uaea: O le va'aiga uaea ose la'asaga taua ile fa'agaioiina ole 4H-SiC substrates. O ta'eta'ei ma fa'aleagaina i lalo o le fogā'ele'ele na afua mai i le va'aiga o uaea e a'afia ai fa'agasologa mulimuli ane, fa'alautele ai le taimi e fa'agasolo ai ma fa'aleagaina ai meafaitino. O le auala sili ona taatele o le va'aiga tele-uaea ma taimane abrasive. E fa'aaogaina se gaioiga fa'asolo o uaea u'amea o lo'o fa'apipi'iina i taimane abrasives e tipi ai le 4H-SiC ingot.
5. Chamfering: Ina ia taofia le ta'iina o pito ma fa'aitiitia ai tupe gau a'o fa'agasolo fa'agasologa mulimuli ane, o pito ma'ai o mea meata'i uaea e fa'apipi'i i foliga fa'apitoa.
6. Thinning: O le i'a uaea e maua ai le tele o maosiosia ma fa'aleagaina i lalo. O le fa'amama e fa'aaoga ai uili taimane e aveese ai nei fa'aletonu i le tele e mafai ai.
7. Uli: O lenei faiga e aofia ai le olo talatala ma le olo lelei e fa'aaoga ai le boron carbide po'o taimane abrasives la'ititi lapopo'a e aveese ai toega o mea leaga ma mea fou na fa'aalia i le taimi o le manifinifi.
8. Faila: O la'asaga mulimuli e aofia ai le fa'aiila talatala ma le fa'alelei lelei e fa'aaoga ai le alumina po'o le silicon oxide abrasives. O le vai fa'alelei e fa'amaluluina le pito i luga, lea e aveese fa'ainisinia e abrasives. O lenei laʻasaga e faʻamautinoa ai se mea lamolemole ma le faʻaleagaina.
9. Fa'amamāina: Ave'esea o mea ninii, metals, oxide films, organic toega, ma isi mea fa'aleagaina o lo'o totoe mai laasaga o gaioiga.
Taimi meli: Me-15-2024