O a laʻasaga autu i le gaosiga o substrates SiC?

E faʻafefea ona matou gaosia-faʻagaioiga laasaga mo SiC substrates e faʻapea:

1. Fa'asinomaga Crystal: Fa'aogaina o le fa'aeseesega o le X-ray e fa'asa'o ai le ingot tioata.A fa'asino atu se ave X-ray i foliga tioata e mana'omia, o le tulimanu o le fa'alava fa'aeseese e iloa ai le fa'asologa tioata.

2. Fa'ameamea i fafo: O tioata ta'itasi e ola i graphite crucibles e masani ona sili atu i le lautele masani.O le oloina o le lautele i fafo e faʻaititia ai i latou i lapopoa masani.

Fa'ai'u Mata Uli: 4-inisi 4H-SiC substrates masani e lua tu'u pito, muamua ma lona lua.Fa'ai'uga olo olo e tatala ai pito fa'atulagaina.

3. Vaila'au Uaea: O le va'aiga uaea ose laasaga tāua lea ile fa'agaioiina o mea'ai 4H-SiC.O ta'eta'ei ma fa'aleagaina i lalo o le fogā'ele'ele na afua mai i le va'aiga o uaea e a'afia ai fa'agasologa mulimuli ane, fa'alautele ai le taimi e fa'agasolo ai ma fa'aleagaina ai meafaitino.O le auala sili ona taatele o le va'aiga tele-uaea ma taimane abrasive.E fa'aaogaina se gaioiga fa'asolo o uaea u'amea o lo'o fa'apipi'iina i taimane abrasives e tipi ai le 4H-SiC ingot.

4. Chamfering: Ina ia taofia le taia o pito ma faʻaitiitia ai mea faʻaalu i le taimi o faʻagasologa mulimuli ane, o pito maʻai o meataʻi uaea e faʻapipiʻi i foliga faʻapitoa.

5. Thinning: O le ili uaea e maua ai le tele o maosiosia ma fa'aleagaina i lalo.O le fa'amama e fa'aaoga ai uili taimane e aveese ai nei fa'aletonu i le tele e mafai ai.

6. Uli: O lenei faiga e aofia ai le olo talatala ma le olo lelei e fa'aaoga ai le boron carbide po'o taimane abrasives la'ititi lapopo'a e aveese ai mea fa'aleagaina ma mea fou na fa'aalia i le taimi o le manifinifi.

7. Faila: O la'asaga mulimuli e aofia ai le fa'aiila talatala ma le fa'alelei lelei e fa'aaoga ai le alumina po'o le silicon oxide abrasives.O le vai fa'alelei e fa'amaluluina le pito i luga, lea e aveese fa'ainisinia e abrasives.O lenei laʻasaga e faʻamautinoa ai se mea lamolemole ma le faʻaleagaina.

8. Fa'amamāina: Ave'esea mea'ai, metals, oxide films, organic toega, ma isi mea fa'aleagaina o lo'o totoe mai laasaga o gaioiga.