Mai fa'agasologa uma o lo'o a'afia i le fa'atupuina o se pu, o le i'uga mulimuli o lewafere tatau ona tipi i ni mea ta'itasi ma afifi i tama'i atigipusa fa'apipi'i ma na'o ni nai pine e fa'aalia. O le vaʻa o le a iloiloina e faʻavae i luga o lona faʻailoga, teteʻe, tulaga o loʻo i ai nei, ma voltage, ae leai se tasi e mafaufau i ona foliga vaaia. I le faagasologa o le gaosiga, matou te faʻapupulaina pea le wafer e ausia ai le faʻatulagaina o fuafuaga, aemaise lava mo laasaga taʻitasi photolithography. O lewafere tatau ona matua mafolafola le pito i luga aua, a'o fa'aitiitia le faiga o le gaosiga o chip, e mana'omia e le tioata o le masini photolithography le fa'ai'uga o le nanometer-scale e ala i le fa'ateleina o le avanoa numera (NA) o le tioata. Ae ui i lea, o lenei mea e faʻaitiitia ai le loloto o le taulaʻi (DoF). O le loloto o le taulaiga e faasino i le loloto i totonu e mafai ai e le masini faʻapipiʻi ona faʻaauau le taulaʻi. Ina ia mautinoa o loʻo tumau pea le manino ma taulaʻi le ata o le photolithography, o suiga i luga o lewafere tatau ona pau i totonu o le loloto o le taulaiga.
I ni faaupuga faigofie, o le masini photolithography e ofoina atu le mafai ona faʻaleleia le saʻo o ata. Mo se fa'ata'ita'iga, o masini fa'ata'ita'iga a le EUV fou e iai le avanoa fa'anumera o le 0.55, ae o le loloto tu'usa'o o le taula'i e na'o le 45 nanometers, fa'atasi ai ma se la'ititi la'ititi o ata sili ona lelei i le taimi o le ata. Afai o lewafere le mafolafola, e le tutusa le mafiafia, po'o luga ole undulations, o le a mafua ai faafitauli i le photolithography i tulaga maualuga ma maualalo.
Photolithography e le na o le pau lea o le faagasologa e manaʻomia se lamolemolewaferluga. O le tele o isi fa'agasologa o le gaosiga o chip e mana'omia ai fo'i le fa'aiila. Mo se fa'ata'ita'iga, a mae'a susū, e mana'omia le fa'alelei e fa'alamolemole ai le mata talatala mo le fa'apipi'iina ma le fa'aputu. A mae'a le tu'u'ese'esega papa'u (STI), e mana'omia le fa'aiila e fa'alamolemole ai le silicon dioxide ma fa'auma ai le fa'atumuina o alavai. A maeʻa le faʻaputuina o uʻamea, e manaʻomia le faʻaiila e aveese ai le tele o uʻamea ma puipuia ai le puʻupuʻu o masini.
O le mea lea, o le fanau mai o se pu e aofia ai le tele o la'asaga fa'aiila e fa'aitiitia ai le talatala o le wafer ma fesuiaiga o luga ma aveese mea mai luga. E le gata i lea, o fa'aletonu i luga ole laiga e mafua mai i fa'afitauli eseese ole fa'agaioiga i luga ole wafer e masani lava ona fa'aalia pe a uma la'asaga fa'alila ta'itasi. O le mea lea, o inisinia e nafa ma le polesi o loʻo umia se matafaioi taua. O i latou ia o tagata autu i le gaosiga o chip ma e masani ona tuʻuaʻia i fonotaga o gaosiga. E tatau ona latou atamamai i le susū susū ma mea fa'aletino, e fai ma faiga fa'aiila autu i le gaosiga o chip.
O a auala e fa'alelei ai le wafer?
E mafai ona fa'avasegaina fa'agasologa fa'apolopolo i ni vaega tetele se tolu e fa'atatau i ta'iala tau feso'ota'iga i le va o le vai fa'alelei ma le fa'aele'ele o le silicon wafer surface:
1. Mechanical Polishing Metotia:
O le fa'aiila fa'ainisinia e aveese ai fa'aliga o le pito iila e ala i le tipiina ma le fa'ailoga palasitika ina ia maua ai se laulelei lamolemole. O meafaigaluega masani e aofia ai maa suauu, uili fulufulu mamoe, ma pepa oneone, e masani ona faʻaogaina e lima. O vaega fa'apitoa, e pei o luga o tino feliuliua'i, e mafai ona fa'aogaina ai mea fa'apipi'i ma isi mea faigaluega fesoasoani. Mo luga ole tulaga maualuga mana'oga, e mafai ona fa'aogaina auala fa'alelei sili. O le fa'aiila sili ona lelei e fa'aogaina ai mea faigaluega fa'apitoa, lea, i totonu o se vai fa'alelei o lo'o i ai, o lo'o pipii mau i luga o le mea faigaluega ma feliuliua'i i le saoasaoa maualuga. O lenei metotia e mafai ona ausia ai le maualuga o le Ra0.008μm, o le maualuga i totonu o auala faʻalelei uma. O lenei metotia e masani ona faʻaaogaina mo tioata tioata mata.
2. Metotia Faila Kemisi:
O le fa'ailoina o vaila'au e aofia ai le fa'amavaeina fa'apitoa o micro-protrusions i luga o le meafaitino i se vaila'au vaila'au, e maua ai le lamolemole. O le aoga autu o lenei metotia o le leai o se manaʻoga mo meafaigaluega lavelave, o le mafai ona faʻamalo mea faigaluega faʻapitoa, ma le gafatia e faʻamalo le tele o mea faigaluega i le taimi e tasi ma le maualuga maualuga. O le mataupu autu o le faʻamalo kemisi o le faʻatulagaina o le vai faʻamalo. O le talatala o luga e maua e ala i kemikolo e masani lava e tele sefulu micrometers.
3. Metotia Mechanical Mechanical Polishing (CMP):
O auala muamua e lua e faʻamalo ai e iai ona tulaga faʻapitoa. O le tu'ufa'atasia o nei metotia e lua e mafai ona maua ai a'afiaga fa'aopoopo i le fa'agasologa. O le fa'aiila fa'ainisinia e tu'ufa'atasia ai fe'ese'esega fa'ainisinia ma faiga fa'a'ele'ele kemikolo. I le taimi o le CMP, o vailaʻau faʻamalosi i totonu o le vai faʻafefeteina e faʻamaʻapeʻaina le mea faʻapipiʻi faʻapipiʻi, faʻatupuina se faʻamaʻi oxide vaivai. Ona aveese lea o le vaega o le oxide lea e ala i le fesiitaiga o masini. O le toe faia o lenei fa'ama'i fa'ama'i ma le fa'agasologa o le fa'ainisinia e maua ai le fa'alelei lelei.
Lu'i ma Fa'afitauli o lo'o iai i le Fa'aulaina Fa'ainisinia (CMP):
O loʻo feagai le CMP ma luʻitau ma faʻafitauli i vaega o tekinolosi, tamaoaiga, ma le faʻaleleia o le siosiomaga:
1) Fa'agasologa Fa'agasologa: O le ausiaina o le maualuga maualuga i le faiga o le CMP e tumau pea le lu'itau. E o'o lava i totonu o le laina lava e tasi, o suiga laiti i fa'agasologa o fa'agasologa i le va o vaega eseese po'o meafaigaluega e mafai ona a'afia ai le tutusa o le oloa mulimuli.
2) Fetuuna'i i Mea Fou: A'o fa'aauau pea ona tula'i mai mea fou, e tatau ona fetuuna'i le tekonolosi CMP io latou uiga. O nisi mea fa'apitoa e ono le fetaui ma faiga masani a le CMP, e mana'omia ai le atina'eina o sua fa'alelei ma abrasives.
3) Aafiaga Tele: A'o fa'aauau pea ona fa'aitiitia le tele o masini semiconductor, o fa'afitauli e mafua mai i le tele o a'afiaga e sili atu ona taua. O la'ititi la'ititi e mana'omia ai le mafolafola maualuga maualuga, e mana'omia ai le fa'agaoioiga CMP sili atu.
4) Fa'atonuga ole Fua Fa'atatau o Mea: I nisi o talosaga, e taua tele le fa'atonuina o le fua fa'atatau o meafaitino. O le fa'amautinoaina o fua fa'atatau e ave'ese i luga ole laiga 'ese'ese ile taimi ole CMP e mana'omia mo le gaosiga o masini e maualuga le fa'atinoga.
5) Faʻafeiloaʻiga Faʻalesiosiomaga: O vai faʻalelei ma abrasives o loʻo faʻaaogaina i le CMP e ono aofia ai vaega faʻaleagaina o le siosiomaga. O su'esu'ega ma atina'e o fa'agaioiga ma meafaitino e sili atu le si'osi'omaga ma gafataulimaina o ni lu'itau taua.
6) Faʻamatalaga ma le Automation: E ui o loʻo faʻasolosolo malie le faʻaleleia o le atamai ma le masini o masini CMP, e tatau lava ona latou feagai ma siosiomaga faʻalavelave ma fesuisuiai. O le ausiaina o tulaga maualuga o le masini ma le mataʻituina atamai e faʻaleleia atili ai le gaosiga o se luʻitau e manaʻomia ona faʻaalia.
7) Puleaina o Tau: O le CMP e aofia ai meafaigaluega maualuluga ma tau o meafaitino. E manaʻomia e le au gaosi oloa ona faʻaleleia le faʻatinoga o gaioiga aʻo taumafai e faʻaitiitia tau o gaosiga e faʻatumauina ai le faʻatauvaʻa maketi.
Taimi meli: Iuni-05-2024