Malosi SiC Taulai Mama

O le Solid SiC Focus Ring mai Semicera o se vaega pito sili ona faʻatulagaina e faʻafetaui ai manaʻoga o le gaosiga o semiconductor. Faia mai le mama maualugaSilicon Carbide (SiC), O lenei mama taulaʻi e lelei mo le tele o faʻaoga i le semiconductor alamanuia, aemaise lava iCVD SiC faiga, etching plasma, maICPRIE (Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching). E lauiloa i le tulaga ese o le ofuina o lavalava, maualuga le mautu o le vevela, ma le mama, e mautinoa ai le umi o le faatinoga i totonu o siosiomaga maualuga.

I semiconductorwaferfa'agaioiga, Mālō SiC Focus Mama e taua tele i le fa'atumauina sa'o sa'o a'o fa'amamago ma wafer etching talosaga. O le mama taula'i SiC e fesoasoani i le taula'i o le plasma i le taimi o fa'agasologa e pei o le fa'aogaina o masini etching plasma, ma fa'atauaina ai mo le togiina o mea fa'apipi'i silikoni. Ole mea mautu SiC e ofoina atu e le mafaatusalia le tetee i le tafia, faʻamautinoa le umi o au meafaigaluega ma faʻaitiitia le taimi faʻaletonu, lea e manaʻomia mo le faʻatumauina o le maualuga o le gaosiga i le semiconductor fabrication.

Ole Solid SiC Focus Ring mai Semicera ua fa'ainisinia e tatalia le vevela vevela ma vaila'au fa'amalosi e masani ona fa'afeiloa'i ile pisinisi semiconductor. O lo'o fa'atulagaina fa'apitoa mo le fa'aogaina i galuega fa'apitoa e pei oCVD SiC coatings, lea e sili ona taua le mama ma le tumau. Faatasi ai ma le sili ona tetee atu i le te'i vevela, o lenei oloa e mautinoa ai le tumau ma le mautu o le faatinoga i lalo o tulaga sili ona faigata, e aofia ai le faʻaalia i le maualuga o le vevela i le taimiwaferfaiga etching.