Semicera e tuʻuina atu faʻapitoa tantalum carbide (TaC) coatings mo vaega eseese ma ave.Semicera taʻitaʻia faiga faʻapipiʻiina e mafai ai e tantalum carbide (TaC) coatings ona ausia le mama maualuga, maualuga le maualuga o le vevela ma le maualuga o le faʻapalepale o vailaʻau, faʻaleleia le lelei o oloa o tioata SIC / GAN ma lapisi EPI (Susceptor TaC fa'apipi'i graphite), ma fa'alauteleina le ola o vaega autu o le reactor. O le faʻaogaina o le tantalum carbide TaC coating o le foia lea o le faʻafitauli pito ma faʻaleleia le lelei o le tuputupu aʻe tioata, ma o Semicera ua faʻataunuʻuina le tantalum carbide coating technology (CVD), e oʻo atu i le tulaga maualuga faavaomalo.
Silicon carbide (SiC) o se mea taua i le lona tolu o augatupulaga o semiconductor, ae o lona fua o fua o se mea faʻatapulaʻa mo le faʻatupulaia o pisinisi. I le mae'a ai o su'esu'ega tele i fale su'esu'e a Semicera, ua iloa ai o le TaC na fa'asalaina ma fa'alumaina e leai se mama ma tutusa. I se faʻatusatusaga, o le CVD process e faʻamautinoaina se tulaga mama o le 5 PPM ma le tutusa lelei. O le fa'aogaina o le CVD TaC e matua fa'aleleia atili ai le fua o le fua o le carbide wafers. Matou te talia talanoagaTaC Coated Graphite Tolu Vaega Mama e fa'aitiitia ai le tau o siC wafers.
Ina ua mavae tausaga o atinae, ua manumalo Semicera le tekinolosi oCVD TaCfaatasi ai ma taumafaiga soofaatasi a le matagaluega R&D. O faaletonu e faigofie ona tupu i le faagasologa o le tuputupu ae o siC wafers, ae pe a uma ona faʻaaogainaTaC, e taua tele le eseesega. O loʻo i lalo se faʻatusatusaga o wafers ma e aunoa ma le TaC, faʻapea foʻi ma vaega o Simicera mo le tuputupu aʻe tioata tasi.
faatasi ai ma le leai foi o le TaC
Ina ua uma ona faaaoga TaC (taumatau)
E le gata i lea, o Semicera'sTaC-faʻapipiʻiina oloafaʻaalia le umi o le auaunaga ma le sili atu o le maualuga o le vevela faʻatusatusa iSiC coatings.O fua fa'asu'esu'e ua fa'aalia ai o le matouTaC coatingse mafai ona faatino i taimi uma i le vevela e oo atu i le 2300 tikeri Celsius mo vaitaimi faaumiumi. Lalo o nisi o faʻataʻitaʻiga oa matou faʻataʻitaʻiga:
