TaC ua ufiufi mama taiala graphitefa'asino i le fa'aputuina o se vaega manifinifi otantalum carbidei luga o le pito i luga o se mama taʻiala graphite e faʻaleleia ai lona faʻaogaina, maualuga le vevela ma le mautu o vailaʻau. O lenei fa'alavalava e masani ona fai i luga o se mama ta'iala graphite e ala i metotia e pei o le fa'a'ofuina o le ausa fa'aletino (PVD) po'o le fa'aputuina o ausa vaila'au (CVD).
Semicera e tuʻuina atu faʻapitoa tantalum carbide (TaC) coatings mo vaega eseese ma ave.Semicera taʻitaʻia faiga faʻapipiʻiina e mafai ai e tantalum carbide (TaC) coatings ona ausia le mama maualuga, maualuga le maualuga o le vevela ma le maualuga o le faʻapalepale o vailaʻau, faʻaleleia le lelei o oloa o tioata SIC / GAN ma lapisi EPI (Susceptor TaC fa'apipi'i graphite), ma fa'alauteleina le ola o vaega autu o le reactor. O le faʻaogaina o le tantalum carbide TaC coating o le foia lea o le faʻafitauli pito ma faʻaleleia le lelei o le tuputupu aʻe tioata, ma o Semicera ua faʻataunuʻuina le tantalum carbide coating technology (CVD), e oʻo atu i le tulaga maualuga faavaomalo.
Ina ua mavae tausaga o atinae, ua manumalo Semicera le tekinolosi oCVD TaCfaatasi ai ma taumafaiga soofaatasi a le matagaluega R&D. O faaletonu e faigofie ona tupu i le faagasologa o le tuputupu ae o siC wafers, ae pe a uma ona faʻaaogainaTaC, e taua tele le eseesega. O loʻo i lalo se faʻatusatusaga o wafers ma e aunoa ma le TaC, faʻapea foʻi ma vaega o Simicera mo le tuputupu aʻe tioata tasi.
O mea taua o le taC coated graphite guide rings e aofia ai:
1. Tete'e maualuga o le vevela: TaC coating e sili ona lelei le maualuga o le vevela ma e mafai ona faatumauina le mautu i siosiomaga vevela maualuga.
2. Fa'aofuofu tete'e: O le maaa maualuga o le tantalum carbide layer manifinifi e maua ai le mama ta'iala lelei le ofuina ma fa'alautele lona ola tautua.
3. Faʻamautu vailaʻau: TaC coating e maualuga le mautu e faʻasaga i vailaʻau faʻamaʻi, e faʻaogaina ai mo faʻaoga i nisi o faʻasalalauga faʻafefe.
4. Faʻaitiitia feteʻenaʻiga: TaC coating e mafai ona faʻaitiitia lelei le feteʻenaʻiga i le va o le taʻiala taʻiala graphite ma isi vaega ma faʻaleleia le lelei o faʻamaufaʻailoga masini.
faatasi ai ma le leai foi o le TaC
Ina ua uma ona faaaoga TaC (taumatau)
E le gata i lea, o Semicera'sTaC-faʻapipiʻiina oloafaʻaalia le umi o le auaunaga ma le sili atu o le maualuga o le vevela faʻatusatusa iSiC coatings.O fua fa'asu'esu'e ua fa'aalia ai o le matouTaC coatingse mafai ona faatino i taimi uma i le vevela e oo atu i le 2300 tikeri Celsius mo vaitaimi faaumiumi. Lalo o nisi o faʻataʻitaʻiga oa matou faʻataʻitaʻiga:
