Folasaga ile CVD TaC Coating:
O le CVD TaC Coating ose tekinolosi e fa'aogaina ai le ausa vaila'au e teu ai le tantalum carbide (TaC) fa'apipi'i i luga o se mea'ai. Tantalum carbide o se mea fa'ameamea sima maualuga fa'atasi ma mea lelei fa'ainisinia ma vaila'au. O le fa'agasologa o le CVD e fa'atupuina ai se ata tifaga TaC toniga i luga o le mea'ai e ala i le tali atu o le kesi.
Vaega autu:
Ma'a'a lelei ma le fa'alavalava: Tantalum carbide e matua maualuga lava le maaa, ma o le CVD TaC Coating e mafai ona faʻaleleia atili ai le faʻaogaina o le mea e fai ai mea. O le mea lea e lelei ai le faʻapipiʻiina mo faʻaoga i totonu o siʻosiʻomaga maualuga-ofu, e pei o meafaigaluega tipi ma limu.
Maumau maualuga o le vevela: TaC coatings puipuia ogaumu taua ma reactor vaega i le vevela e oo atu i le 2200°C, faʻaalia lelei le mautu. O loʻo faʻatumauina le faʻamautuina o vailaʻau ma masini i lalo o tulaga ogaoga o le vevela, faʻapitoa mo le faʻaogaina o le vevela ma faʻaoga i totonu o siosiomaga maualuga.
Tulaga fa'ama'i lelei: Tantalum carbide e malosi le fa'afefeteina i le tele o acids ma alkalis, ma le CVD TaC Coating e mafai ona puipuia lelei le fa'aleagaina o le substrate i si'osi'omaga pala.
maualuga le liusuavai: Tantalum carbide o loʻo i ai le maualuga o le liusua (e tusa ma le 3880 ° C), faʻatagaina le CVD TaC Coating e faʻaaogaina i tulaga maualuga o le vevela e aunoa ma le liusuavai pe faʻaleagaina.
Lelei fa'avevela vevela: TaC coating ei ai le maualuga o le vevela, lea e fesoasoani e faʻamalo lelei le vevela i faiga maualuga-vevela ma puipuia ai le vevela i le lotoifale.
Fa'atonuga fa'atatau:
• Gallium Nitride (GaN) ma le Silicon Carbide epitaxial CVD reactor vaega e aofia ai mea mama, ipu satelite, ulu ta'ele, fa'alo, ma susceptors
• Silicon carbide, gallium nitride ma le alumini nitride (AlN) vaega o le tuputupu ae tioata e aofia ai faʻamau, faʻamau fatu, mama taiala ma faamama.
• Vaega fa'apisinisi e aofia ai elemene fa'avevela fa'asao, fa'asu'u tui, mama ufimata ma jigs brazing
Fa'aoga fa'aoga:
• Faʻamautu le vevela i luga aʻe o le 2000°C, faʻatagaina le faʻaogaina i le vevela tele
• Tete'e i le hydrogen (Hz), ammonia (NH3), monosilane (SiH4) ma le silikoni (Si), e maua ai le puipuiga i siosiomaga kemisi malosi
• O lona tete'e vevela e mafai ai ona fa'avavevave le ta'amilosaga
• E malosi le pipii o le graphite, faʻamautinoaina le umi o le tautua ma leai se faʻamalo.
• Ole mama maualuga e faʻaumatia ai mea leaga e le manaʻomia poʻo mea leaga
• Fa'apipi'i fa'alavalava fa'alava i le fa'apalepale fa'atatau
Fa'amatalaga fa'apitoa:
Sauniuniga o tantalum carbide coatings mafiafia e CVD:
TAC faʻapipiʻi ma le maualuga o le tioata ma le tutusa lelei:
CVD TAC COATING Parameters_Semicera:
Mea fa'aletino ole fa'alavalava TaC | |
Malosi | 14.3 (g/cm³) |
Fa'atosina tele | 8 x 1015/cm |
Emisi fa'apitoa | 0.3 |
Coefficient fa'alauteleina vevela | 6.3 10-6/K |
Malosi(HK) | 2000 HK |
Tele Resistivity | 4.5 ohm-cm |
Tete'e | 1x10-5Ohm*cm |
Tulaga mafanafana | <2500℃ |
Fe'avea'i | 237 cm2/Vs |
Suiga le tele o le kalafi | -10~-20um |
Ufiufi mafiafia | ≥20um tau masani (35um+10um) |
O mea o loʻo i luga o tau masani.