Tantalum Carbide Plate fa'apipi'i

O le TaC Coated Plate o se tisiketi faʻapitoa ua fuafuaina mo le faʻaogaina i le SiC epitaxial process, faʻapipiʻiina ma le saʻo mai mea graphite maualuga. O lona pito i luga o loʻo faʻapipiʻiina lelei i le tantalum carbide (TaC), o se faʻalapotopotoga ua lauiloa i lona mama ma le malosi. O le taC coating e faʻaleleia ai le tumau o le ipu ma le teteʻe atu i le maualuga o le vevela, ma faʻamalieina mo tulaga faigata o le SiC epitaxial process.

O lenei TaC Coated Plate fou o se tisiketi faʻapitoa ua fuafuaina mo le faʻaogaina i faiga SiC epitaxial, faʻapipiʻiina ma le saʻo mai mea graphite maualuga. TaC Coated Plate surface o lo'o ufiufi ma'oti i le tantalum carbide (TaC), o se fa'afefiloi ua iloa i lona mama ma le malosi. e avea o se faʻavae faʻalagolago mo le aveina o wafers i taimi eseese o le SiC epitaxial tuputupu aʻe. O lona fa'avae graphite maualuga-mama e maua ai se fa'amautu ma le le mautonu, ae o le TaC fa'apipi'i fa'aopoopoina se isi vaega o le puipuiga mai fa'ama'i ma fa'alavalava.

SemivaitaimiTaC Coated Plate e faʻapipiʻiina e tusa ai ma manaʻoga faʻapitoa a le au faʻatau, faʻamautinoa le lelei o le faʻatinoga ma le fetaui ma a latou SiC epitaxial system. Pe o le tele, foliga, poʻo isi faʻamatalaga, o nei papatusi e faʻafetaui e faʻafetaui manaoga tulaga ese o talosaga uma.