Semicera e tuʻuina atu faʻapitoa tantalum carbide (TaC) coatings mo vaega eseese ma ave.Semicera taʻitaʻia faiga faʻapipiʻiina e mafai ai e tantalum carbide (TaC) coatings ona ausia le mama maualuga, maualuga le maualuga o le vevela ma le maualuga o le faʻapalepale o vailaʻau, faʻaleleia le lelei o oloa o tioata SIC / GAN ma lapisi EPI (Susceptor TaC fa'apipi'i graphite), ma fa'alauteleina le ola o vaega autu o le reactor. O le faʻaogaina o le tantalum carbide TaC coating o le foia lea o le faʻafitauli pito ma faʻaleleia le lelei o le tuputupu aʻe tioata, ma o Semicera ua faʻataunuʻuina le tantalum carbide coating technology (CVD), e oʻo atu i le tulaga maualuga faavaomalo.
Tantalum carbide coated wafer carriers o loʻo faʻaaogaina lautele i le gaosiga ma le faʻaogaina o faʻagasologa i faiga gaosiga semiconductor. Latou te tuʻuina atu le lagolago mautu ma le puipuiga e faʻamautinoa ai le saogalemu, saʻo ma le tumau o wafers i le taimi o le gaosiga. Tantalum carbide coatings e mafai ona faʻalauteleina le ola tautua o le vaʻa, faʻaitiitia tau, ma faʻaleleia le lelei ma le faʻamaoni o oloa semiconductor.
Fa'amatalaga o le tantalum carbide coated wafer carrier e fa'apea:
1. Filifiliga meafaitino: Tantalum carbide o se mea e sili ona lelei le faʻatinoga, maualuga maualuga, maualuga le faʻafefeteina, faʻafefeteina ma mea faʻainisinia sili ona lelei, o lea e faʻaaogaina lautele i le gaosiga o le gaosiga o semiconductor.
2. Faʻapipiʻi luga: Tantalum carbide coating o loʻo faʻaogaina i luga o le vaʻavaʻa vaʻavaʻa e ala i se faiga faʻapipiʻi faʻapitoa e fausia ai se toniga ma mafiafia tantalum carbide coating. O lenei faʻapipiʻi e mafai ona maua ai le puipuiga faʻaopoopo ma le ofuina o le teteʻe, aʻo lelei le faʻauluina o le vevela.
3. Mafolafola ma saʻo: Tantalum carbide coated wafer carrier o loʻo i ai le maualuga maualuga o le faʻamaʻaʻaina ma le saʻo, faʻamautinoa le mautu ma le saʻo o wafers i le taimi o le gaosiga o gaosiga. O le mafolafola ma le mae'a o le pito i luga e taua tele ina ia mautinoa ai le lelei ma le fa'atinoga o le wafer.
4. Faʻamautu o le vevela: Tantalum carbide coated wafer carriers e mafai ona faatumauina le mautu i siosiomaga vevela maualuga e aunoa ma le faʻaleagaina poʻo le tatalaina, faʻamautinoaina le mautu ma le tumau o wafers i faiga vevela maualuga.
5. Corrosion resistance: Tantalum carbide coatings e sili ona lelei le faʻafefeteina, e mafai ona tetee atu i le tafia o vailaʻau ma solvents, ma puipuia le vaʻa mai le vai ma le kesi.
faatasi ai ma le leai foi o le TaC
Ina ua uma ona faaaoga TaC (taumatau)
E le gata i lea, o Semicera'sTaC-faʻapipiʻiina oloafaʻaalia le umi o le auaunaga ma le sili atu o le maualuga o le vevela faʻatusatusa iSiC coatings.O fua fa'asu'esu'e ua fa'aalia ai o le matouTaC coatingse mafai ona faatino i taimi uma i le vevela e oo atu i le 2300 tikeri Celsius mo vaitaimi faaumiumi. Lalo o nisi o faʻataʻitaʻiga oa matou faʻataʻitaʻiga:
