Tantalum carbide ufiufi pepa kalafio se mea graphite ma se vaega manifinifi otantalum carbideluga o le mea'ai. O le vaega manifinifi o le tantalum carbide e masani lava ona fausia i luga o le graphite substrate e ala i metotia e pei o le fa'aofuina o le ausa faaletino (PVD) poʻo le vailaʻau vailaʻau (CVD). O lenei faʻapipiʻi o loʻo i ai mea sili ona lelei e pei o le maualuga o le maaa, sili ona lelei le faʻaogaina o le ofuina, faʻafefeteina ma le maualuga o le vevela.
Semicera e tuʻuina atu faʻapitoa tantalum carbide (TaC) coatings mo vaega eseese ma ave.Semicera taʻitaʻia faiga faʻapipiʻiina e mafai ai e tantalum carbide (TaC) coatings ona ausia le mama maualuga, maualuga le maualuga o le vevela ma le maualuga o le faʻapalepale o vailaʻau, faʻaleleia le lelei o oloa o tioata SIC / GAN ma lapisi EPI (Susceptor TaC fa'apipi'i graphite), ma fa'alauteleina le ola o vaega autu o le reactor. O le faʻaogaina o le tantalum carbide TaC coating o le foia lea o le faʻafitauli pito ma faʻaleleia le lelei o le tuputupu aʻe tioata, ma o Semicera ua faʻataunuʻuina le tantalum carbide coating technology (CVD), e oʻo atu i le tulaga maualuga faavaomalo.
Ina ua mavae tausaga o atinae, ua manumalo Semicera le tekinolosi oCVD TaCfaatasi ai ma taumafaiga soofaatasi a le matagaluega R&D. O faaletonu e faigofie ona tupu i le faagasologa o le tuputupu ae o siC wafers, ae pe a uma ona faʻaaogainaTaC, e taua tele le eseesega. O loʻo i lalo se faʻatusatusaga o wafers ma e aunoa ma le TaC, faʻapea foʻi ma vaega o Simicera mo le tuputupu aʻe tioata tasi.
O faʻamanuiaga autu o le tantalum carbide coated graphite sheet e aofia ai:
1. Tete'e maualuga o le vevela: Tantalum carbide o loʻo i ai le maualuga o le faʻafefeteina ma le maualuga o le maualuga o le faʻamautuina o le vevela, e faʻaogaina ai le laupepa graphite faʻapipiʻiina mo le faʻaogaina i siosiomaga vevela maualuga.
2. Corrosion teteʻe: Tantalum carbide coating e mafai ona tetee atu i le tafia o le tele o vailaʻau corrosive ma faʻalauteleina le ola tautua o mea.
3. Malosi maualuga: O le maualuga o le maaa o le tantalum carbide thin layer e maua ai le lelei o le ofuina ma e talafeagai mo talosaga e manaʻomia ai le maualuga o le ofuina.
4. Mautu vailaʻau: Tantalum carbide coating e sili ona mautu i vailaʻau faʻamaʻi ma e talafeagai mo le faʻaaogaina i nisi o ala o faasalalauga corrosive.
faatasi ai ma le leai foi o le TaC
Ina ua uma ona faaaoga TaC (taumatau)
E le gata i lea, o Semicera'sTaC-faʻapipiʻiina oloafaʻaalia le umi o le auaunaga ma le sili atu o le maualuga o le vevela faʻatusatusa iSiC coatings.O fua fa'asu'esu'e ua fa'aalia ai o le matouTaC coatingse mafai ona faatino i taimi uma i le vevela e oo atu i le 2300 tikeri Celsius mo vaitaimi faaumiumi. Lalo o nisi o faʻataʻitaʻiga oa matou faʻataʻitaʻiga: