Tantalum carbide ufiufi susceptor ipu lagolagoo se susceptor po'o se fausaga lagolago e ufiufi i se vaega manifinifi otantalum carbide. O lenei ufiufi e mafai ona faia i luga o le susceptor surface e ala i auala e pei o le faʻaogaina o le ausa faʻaletino (PVD) poʻo le faʻaogaina o le susceptor (CVD), e tuʻuina atu ai i le susceptor le tulaga maualuga otantalum carbide.
Semicera e tuʻuina atu faʻapitoa tantalum carbide (TaC) coatings mo vaega eseese ma ave.Semicera taʻitaʻia faiga faʻapipiʻiina e mafai ai e tantalum carbide (TaC) coatings ona ausia le mama maualuga, maualuga le maualuga o le vevela ma le maualuga o le faʻapalepale o vailaʻau, faʻaleleia le lelei o oloa o tioata SIC / GAN ma lapisi EPI (Susceptor TaC fa'apipi'i graphite), ma fa'alauteleina le ola o vaega autu o le reactor. O le faʻaogaina o le tantalum carbide TaC coating o le foia lea o le faʻafitauli pito ma faʻaleleia le lelei o le tuputupu aʻe tioata, ma o Semicera ua faʻataunuʻuina le tantalum carbide coating technology (CVD), e oʻo atu i le tulaga maualuga faavaomalo.
Ina ua mavae tausaga o atinae, ua manumalo Semicera le tekinolosi oCVD TaCfaatasi ai ma taumafaiga soofaatasi a le matagaluega R&D. O faaletonu e faigofie ona tupu i le faagasologa o le tuputupu ae o siC wafers, ae pe a uma ona faʻaaogainaTaC, e taua tele le eseesega. O loʻo i lalo se faʻatusatusaga o wafers ma e aunoa ma le TaC, faʻapea foʻi ma vaega o Simicera mo le tuputupu aʻe tioata tasi.
O uiga autu o tantalum carbide faʻapipiʻiina papa lagolago faavae e aofia ai:
1. Maualuluga vevela mautu: Tantalum carbide e sili ona lelei le mautu o le vevela, faia le ufiufi faavae ipu lagolago talafeagai mo manaoga lagolago i le vevela maualuga siosiomaga galue.
2. Corrosion teteʻe: Tantalum carbide coating e lelei le corrosion teteʻe, e mafai ona tetee i kemikolo corrosion ma oxidation, ma faalautele ai le ola auaunaga o le faavae.
3. Maaa maualuga ma ofuina tete'e: O le maaa maualuga o le tantalum carbide coating e maua ai le faavae lagolago ipu lelei le ofuina, lea e talafeagai mo taimi e manaʻomia ai le maualuga o le ofuina.
4. Mautu vailaʻau: Tantalum carbide e maualuga le mautu i le tele o vailaʻau vailaʻau, faia lelei le faʻapipiʻiina o le ipu lagolago faavae i nisi o siosiomaga corrosive.
faatasi ai ma le leai foi o le TaC
Ina ua uma ona faaaoga TaC (taumatau)
E le gata i lea, o Semicera'sTaC-faʻapipiʻiina oloafaʻaalia le umi o le auaunaga ma le sili atu o le maualuga o le vevela faʻatusatusa iSiC coatings.O fua fa'asu'esu'e ua fa'aalia ai o le matouTaC coatingse mafai ona faatino i taimi uma i le vevela e oo atu i le 2300 tikeri Celsius mo vaitaimi faaumiumi. Lalo o nisi o faʻataʻitaʻiga oa matou faʻataʻitaʻiga:
