I le matā'upu fa'atekonolosi fa'aeletonika i aso nei, e taua tele meafaitino semiconductor.Faatasi ai ma i latou, silicon carbide (SiC) e pei o se mea semiconductor gap gap lautele, faatasi ai ma ona tulaga lelei sili ona lelei, e pei o le eletise malepelepe maualuga, saoasaoa maualuga saturation, conductivity vevela maualuga, ma isi, ua faasolosolo ona avea ma taulaiga o tagata suʻesuʻe ma inisinia.O le silicon carbide epitaxial disk, o se vaega taua o lea mea, ua faʻaalia ai le tele o le faʻaogaina.
一、epitaxial tisiki faatinoga: atoatoa lelei
1. Ultra-maualuga malepe eletise eletise: faatusatusa i mea masani silicon mea, o le malepe eletise fanua o le silicon carbide e sili atu i le 10 taimi.O lona uiga i lalo o tulaga tutusa voltage, masini faʻaeletoroni e faʻaogaina ai le silicon carbide epitaxial disks e mafai ona tatalia le maualuga atu o galu, ma faʻatupuina ai le maualuga-voltage, maualuga-televave, masini eletise maualuga.
2. maualuga-saosaoa saturation saoasaoa: o le saosaoa saturation o le silicon carbide e sili atu i le 2 taimi o le silicon.Faʻaaogaina i le maualuga o le vevela ma le saoasaoa maualuga, o le silicon carbide epitaxial disk e sili atu ona lelei, lea e faʻaleleia atili ai le mautu ma le faʻamaoni o masini eletise.
3. maualuga le lelei conductivity vevela: o le conductivity vevela o le silicon carbide e sili atu nai lo le 3 taimi o le silicon.O lenei vaega e mafai ai e masini faaeletonika ona sili atu le faʻafefeina o le vevela i le taimi o le faʻaauauina o le malosi maualuga, ma puipuia ai le vevela ma faʻaleleia atili le saogalemu o masini.
4. Tulaga sili ona lelei kemisi: i totonu o siosiomaga ogaoga e pei o le maualuga o le vevela, maualuga le mamafa ma le malosi o le radiation, o loʻo tumau pea le faʻatinoga o le carbide silicon e pei o le taimi muamua.O lenei vaega e mafai ai e le silicon carbide epitaxial disk ona faatumauina le lelei atoatoa i le feagai ai ma siosiomaga faigata.
二, fa'agasologa o le gaosiga: vaneina ma le fa'aeteete
O faʻagasologa autu mo le gaosiga o le SIC epitaxial disk e aofia ai le faʻaogaina o le tino (PVD), le faʻaogaina o le ausa (CVD) ma le tuputupu aʻe o le epitaxial.O nei faʻagasologa taʻitasi e iai ona lava uiga ma e manaʻomia le pulea saʻo o taʻiala eseese e ausia ai taunuuga sili.
1. Faʻagasologa PVD: E ala i le faʻafefe poʻo le sputtering ma isi metotia, o loʻo tuʻuina le sini SiC i luga o le substrate e fai ai se ata tifaga.O le ata na saunia e lenei metotia e maualuga le mama ma le tioata lelei, ae o le gaosiga o le saoasaoa e fai si tuai.
2. Fa'agasologa CVD: E ala i le ta'e o le kasa puna carbide kasa i le vevela maualuga, e teuina i luga o le substrate e fausia ai se ata manifinifi.O le mafiafia ma le tutusa o le ata na saunia e lenei metotia e mafai ona faʻatonutonuina, ae o le mama ma le tioata e le lelei.
3. Epitaxial tuputupu aʻe: tuputupu aʻe o le SiC epitaxial layer i luga o le silikoni monocrystalline po o isi mea monocrystalline e ala i vailaʻau faʻaputu ausa.O le epitaxial layer ua saunia e lenei metotia e fetaui lelei ma sili ona lelei le faʻatinoga ma mea faʻapipiʻi, ae o le tau e fai si maualuga.
三、Talosaga avanoa: Faʻamalamalamaina le lumanaʻi
Faatasi ai ma le faʻaauauina o le atinaʻeina o tekonolosi eletise eletise ma le faʻateleina o le manaʻomia mo le maualuga o le faʻatinoga ma le maualuga o le faʻatuatuaina o masini faʻaeletoroni, silicon carbide epitaxial disk o loʻo i ai se avanoa lautele faʻaoga i le gaosiga o masini semiconductor.E faʻaaogaina lautele i le gaosiga o masini semiconductor maualuga maualuga, e pei o le eletise eletise eletise, inverters, rectifiers, ma isi. E le gata i lea, o loʻo faʻaaogaina tele foi i le sola, LED ma isi fanua.
Faʻatasi ai ma ona tulaga faʻapitoa tulaga lelei ma faʻaauau le faʻaleleia atili o le gaosiga o gaosiga, o le silicon carbide epitaxial disk o loʻo faʻaalia malie lona gafatia tele i le semiconductor field.E i ai le mafuaaga tatou te talitonu ai i le lumanaʻi o le saienisi ma tekinolosi, o le a sili atu lona taua.
Taimi meli: Nov-28-2023