Fa'amaoniga o le Tuputupu ae
O lecarbide silikoni (SiC)tioata fatu sa saunia e mulimuli i le faagasologa otooto ma faamaonia e ala i le tuputupu ae tioata SiC. O le faʻaogaina o le faʻaogaina o se ogaumu tuputupu aʻe o le SiC faʻapipiʻiina ma le vevela o le tuputupu aʻe o le 2200 ℃, o le faʻatupulaia o le mamafa o le 200 Pa, ma le umi o le tuputupu aʻe o le 100 itula.
Sauniuniga e aofia ai a6-inisi SiC waferfaatasi ai ma foliga kaponi ma foliga silikoni ua polesi, awafermafiafia tutusa tutusa o ≤10 µm, ma se kasa foliga roughness o ≤0.3 nm. Sa saunia fo'i se pepa kalafi e 200 mm le lautele, 500 µm mafiafia, fa'atasi ai ma le kelu, ava malosi, ma le ie e leai se lint.
O leSiC waferna vili-faʻapipiʻiina i le faʻapipiʻi i luga o le faʻapipiʻi mo le 15 sekone ile 1500 r/min.
O le mea fa'apipi'i i luga o le fa'apipi'i o leSiC wafersa fa'amago i luga o se ipu vevela.
O le pepa kalafi maSiC wafer(fa'asaga i lalo le pito i lalo) sa fa'aputu mai le pito i lalo i le pito i luga ma tu'u i totonu o le ogaumu lomi vevela tioata fatu. O le lomiga vevela na faia e tusa ai ma le faʻasologa o le lomitusi vevela. O le ata 6 o lo'o fa'aalia ai le mata tioata fatu pe a uma le fa'agasologa o le tuputupu a'e. E mafai ona vaʻaia o le fatu tioata e lamolemole e leai ni faʻailoga o le delamination, e faʻaalia ai o tioata fatu SiC ua saunia i lenei suʻesuʻega o loʻo i ai le lelei lelei ma se faʻapipiʻi mafiafia.
Fa'ai'uga
Mafaufau i auala faʻapipiʻi ma tautau o loʻo i ai nei mo le faʻapipiʻiina o fatu tioata, na tuʻuina atu ai se tuʻufaʻatasiga tuʻufaʻatasia ma auala tautau. O lenei suʻesuʻega na taulaʻi i le tapenaga ata tifaga carbon mawafer/ graphite pepa fa'apipi'i faiga e mana'omia mo lenei metotia, e o'o atu ai i fa'ai'uga nei:
O le viscosity o le faʻapipiʻi e manaʻomia mo le carbon film i luga o le wafer e tatau ona 100 mPa · s, faʻatasi ai ma le vevela carbonization o le ≥600 ℃. O le siosiomaga sili ona lelei carbonization o se atemosifia puipuia argon. Afai e faia i lalo ole tulaga gaogao, ole tikeri gaogao e tatau ona ≤1 Pa.
E mana'omia uma le fa'aogaina o le carbonization ma le fa'apipi'iina o le vevela maualalo o le carbonization ma le fa'apipi'i fa'apipi'i i luga o le fa'a'ele'ele e fa'ate'a ese kasa mai le mea fa'apipi'i, e puipuia ai le pa'u ma le fa'aleagaina o mea leaga i totonu o le fa'apipi'i i le taimi o le carbonization.
O le mea fa'apipi'i fa'apipi'i mo le pepa wafer/graphite e tatau ona i ai le viscosity o le 25 mPa·s, fa'atasi ai ma le mamafa fa'amau o le ≥15 kN. I le faagasologa o le fusia, e tatau ona siitia lemu le vevela i le tulaga maualalo-vevela (<120℃) pe a ma le 1.5 itula. O le faʻamaoniga o le tuputupu aʻe o le tioata SiC na faʻamaonia ai o fatu tioata SiC saunia e fetaui ma manaʻoga mo le maualuga o le tuputupu aʻe o le tioata SiC, faʻatasi ai ma luga o le tioata lamolemole fatu ma leai ni paʻu.
Taimi meli: Iuni-11-2024