Silicon carbide wafere faia i le paʻu silikoni mama maualuga ma le paʻu kaponi mama maualuga e pei o mea mataʻutia, ma le tioata carbide silicon e tupu aʻe e ala i le faʻaogaina o le ausa faʻaletino (PVT), ma gaosia i totonu.carbide silikoni mafi.
① Fa'asologa o mea mata'utia.O le paʻu silikoni mama maualuga ma le paʻu kaponi mama maualuga na faʻafefiloi e tusa ai ma se fua faʻatatau, ma faʻapipiʻi vaega carbide silicon i le maualuga o le vevela i luga aʻe o le 2,000 ℃.A maeʻa ona tuʻimomomoina, faʻamamā ma isi gaioiga, o le maualuga o le mama silicon carbide powder raw materials e fetaui ma manaʻoga o le tuputupu aʻe tioata ua saunia.
② Fa'atupu tioata.I le faʻaaogaina o le paʻu SIC mama maualuga e pei o mea mata, o le tioata na faʻatupuina e ala i le faʻaogaina o le ausa (PVT) metotia e faʻaaoga ai le ogaumu tuputupu aʻe tioata.
③ fa'aogaina o ingot.O le mea na maua mai le silicon carbide crystal ingot na fa'atonuina e le X-ray single crystal orientator, ona fa'apalapala lea ma ta'avale, ma fa'agaoioi i le tioata carbide silikoni masani.
④ tipi tioata.I le fa'aaogaina o meafaigaluega tipi laina tele, o tioata carbide silicon e tipiina i ni laupepa manifinifi ma le mafiafia e le sili atu i le 1mm.
⑤ olo tipi.O le wafer e olo i le mafolafola ma le talatala e mana'omia e ala i vai olo e oloina taimane e eseese le lapopo'a.
⑥ fa'alelei pusi.O le silicon carbide e aunoa ma le faaleagaina o luga na maua mai i le faʻamalo faʻainisinia ma le faʻamalo faʻainisinia.
⑦ Su'eina Chip.Fa'aaogā microscope mata, X-ray diffractometer, atomic force microscope, non-contact resistivity tester, surface flat tester, surface defect comprehensive tester ma isi meafaifaaili ma meafaigaluega e iloa ai le microtubule density, crystal quality, surface roughness, resistivity, warpage, curvature, suiga mafiafia, mataʻia luga ma isi taʻiala o le kasa carbide wafer.E tusa ai ma lenei mea, o le tulaga lelei o le pu e fuafuaina.
⑧ Fa'amama pu.O le pepa faʻamaʻi faʻamalo o le silicon carbide e faʻamamāina i le faʻamamāina o le vai ma le vai mama e aveese ai le vai faʻamalo o totoe ma isi palapala palapala i luga o le laupepa faʻamalo, ona feulaina lea o le wafer ma luluina mago e le ultra-high purity nitrogen ma masini faʻamago;O lo'o fa'apipi'i le mea'ai i totonu o se atigipusa mama i totonu o se potu mama tele e fau ai se fa'asala fa'asala kasa silicon carbide i lalo.
O le tele o le chip, o le sili atu ona faigata le tuputupu aʻe tioata tutusa ma le gaosiga o tekonolosi, ma o le maualuga o le gaosiga o le gaosiga o masini pito i lalo, o le maualalo o le tau o le iunite.
Taimi meli: Nov-24-2023