O le a le MOCVD Susceptor?

Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) o se faiga taua tele i le semiconductor alamanuia, lea e teu ai ata manifinifi maualuluga i luga o substrates. O se vaega autu o le faagasologa o le MOCVD o le susceptor, o se elemene taua e taua tele i le faʻamautinoaina o le tutusa ma le lelei o ata na gaosia.

O le a le Susceptor? O le susceptor o se vaega fa'apitoa e fa'aaogaina i le MOCVD fa'agasologa e lagolago ma fa'avevela le mea'ai e tu'u ai ata manifinifi. E tele galuega faatino, e aofia ai le mitiia o le malosi eletise, liua i le vevela, ma tufatufa tutusa lenei vevela i luga o le mea'ai. O lenei faʻamafanafanaga tutusa e taua mo le tuputupu aʻe o ata tutusa ma le mafiafia saʻo ma le tuufaatasiga.

Ituaiga Susceptors:
1. Graphite Susceptors: E masani ona ufiufi i se vaega puipui, pei olecarbide silikoni (SiC), graphite susceptors ua lauiloa mo le maualuga o le vevela ma le mautu. O leSiC fa'apipi'ie maua ai se mea malo, puipui puipui e tetee atu i le pala ma le faaleagaina i le maualuga o le vevela.

2. Silicon Carbide (SiC) Susceptors: O nei mea e faia atoa mai le SiC, e ofoina atu le faʻamautuina lelei o le vevela ma le tetee i le ofuina ma loimata.SiC susceptorse sili ona talafeagai mo faiga maualuga-vevela ma siosiomaga corrosive.
E faapefeaSusceptorsGaluega ile MOCVD:

I le fa'agasologa o le MOCVD, e fa'afeiloa'i mea muamua i totonu o le potu fa'avevela, lea e pala ma fa'afofoga e fai ai se ata manifinifi i luga o le mea'ai. O le susceptor e faia se sao taua e ala i le faʻamautinoaina o loʻo faʻavevela tutusa le mea faʻapipiʻi, e taua tele mo le ausiaina o mea tau ata tifaga i luga o le substrate atoa. O mea a le susceptor ma le mamanu e filifilia ma le faʻaeteete e fetaui ma manaʻoga faʻapitoa o le faʻagasologa o le tuʻuina, e pei o le vevela ma le fetaui lelei o vailaʻau.
Fa'amanuiaga o le Fa'aaogainaSusceptors Maualuga Maualuga:
• Fa'aleleia le Tulaga o Ata Ata: E ala i le tu'uina atu o le tufatufaina atu o le vevela, fesoasoani susceptors i le ausiaina o ata tifaga ma le mafiafia faifai pea ma le tu'ufa'atasiga, lea e taua mo le fa'atinoga o masini semiconductor.
• Faʻateleina Faʻagasologa Faʻagasologa: O susceptors maualuga maualuga e faʻaleleia ai le faʻaogaina atoa o le faagasologa o le MOCVD e ala i le faʻaitiitia o le faʻalavelave ma faʻateleina le gaosiga o ata faʻaaogaina.
• Umi ma Fa'atuatuaina: Susceptors faia mai mea umi e pei o le SiC fa'amautinoa le fa'atuatuaina umi ma fa'aitiitia tau o le tausiga.

Fa'ai'uga: O le susceptor o se vaega taua tele i le fa'agasologa o le MOCVD, e a'afia ai le lelei ma le lelei o le fa'aputuina o ata manifinifi. E ala i le filifilia o mea susceptor sa'o ma mamanu, e mafai e le au gaosi semiconductor ona faʻaogaina a latou gaioiga, e maua ai le lelei o le faʻaogaina o masini ma faʻaititia ai tau gaosiga. Aʻo faʻaauau pea ona faʻatupulaia le manaʻoga mo masini eletise maualuga, o le taua o le maualuga o le MOCVD susc.