O le a le MOCVD Susceptor?

O leMOCVDauala o se tasi o faiga sili ona mautu o loʻo faʻaaogaina nei i le alamanuia e tupu ai le maualuga o ata tifaga manifinifi tioata tasi, e pei o le tasi vaega InGaN epilayers, III-N meafaitino, ma ata semiconductor faʻatasi ai ma le tele quantum well structures, ma e taua tele i le gaosiga o masini semiconductor ma optoelectronic.

O leSiC coating MOCVD susceptorose fa'amea fa'apitoa fa'amau fa'apipi'iina i le silicon carbide (SiC) moepitaxial tuputupu a'e i le u'amea fa'aletino fa'aletino ausa fa'a'ave'avega (MOCVD).

O le SiC coating e sili ona lelei le tete'e atu i kemikolo ma le mautu o le vevela, ma avea ai ma filifiliga lelei mo susceptors MOCVD fa'aaogaina i le fa'atupuina o le epitaxial process.

O se vaega autu o le faagasologa o le MOCVD o le susceptor, o se elemene autu e mautinoa ai le tutusa ma le lelei o ata manifinifi ua gaosia.

O le a le susceptor? O le susceptor o se vaega faʻapitoa e faʻaaogaina i le MOCVD faʻagasologa e lagolago ma faʻamafanafanaina le mea e tuʻu ai le ata manifinifi. E tele ana galuega, e aofia ai le faʻafefeina o le eletise eletise, faʻaliliuina i le vevela, ma tufatufa tutusa le vevela i luga o le meaʻai. O lenei faʻamafanafanaga tutusa e taua mo le tuputupu aʻe o ata manifinifi toniga ma le mafiafia saʻo ma le tuʻufaʻatasia.

Ituaiga o susceptors:
1. Susceptors graphite: E masani ona ufiufi mea susceptors graphite i se vaega puipuia e pei o lecarbide silikoni (SiC), lea e lauiloa ona o le maualuga o le vevela ma le mautu. O leSiC fa'apipi'ie maua ai se mea malo, puipui puipui e tetee atu i le pala ma le faaleagaina i le vevela maualuga.

2. Silicon carbide (SiC) susceptors: O nei susceptors e faia atoa i le SiC ma e sili ona lelei le faʻamautuina o le vevela ma le faʻaogaina o le ofuina. SiC susceptors e fetaui lelei mo faiga maualuga-vevela ma siosiomaga pala.

E fa'afefea ona galue susceptors ile MOCVD:

I le fa'agasologa o le MOCVD, o lo'o tu'uina atu mea muamua i totonu o le potu fa'afoliga lea e pala ma fa'afofoga e fai ai se ata manifinifi i luga o le mea'ai. O le susceptor e faia se sao taua e ala i le faʻamautinoaina o loʻo faʻamafanafanaina le meaʻai, e taua tele i le ausiaina o mea faʻapitoa ata tifaga i luga o le substrate atoa. O meafaitino ma le mamanu o le susceptor e filifilia ma le faʻaeteete e faʻamalieina manaʻoga faʻapitoa o le faʻagasologa o le faʻapipiʻiina, e pei o le vevela ma le faʻaogaina o vailaʻau.

Faʻamanuiaga o le faʻaaogaina o susceptors maualuga:
• Faʻaleleia le lelei o ata tifaga: E ala i le tuʻuina atu o le tufatufaina atu o le vevela, o le susceptor e fesoasoani e ausia ata tifaga ma le mafiafia faifaipea ma le tuufaatasiga, lea e taua tele i le faʻatinoina o masini semiconductor.
• Faʻaleleia atili le faʻaogaina o le gaioiga: O susceptors maualuga maualuga e faʻateleina le faʻaogaina atoa o le faagasologa o le MOCVD e ala i le faʻaitiitia o le faʻalavelave faʻaletonu ma faʻateleina le gaosiga o ata faʻaaogaina.
• Olaga ma faʻatuatuaina: Susceptors faia i mea tumau e pei o le SiC faʻamautinoa le faʻatuatuaina umi ma faʻaitiitia le tau o le tausiga.

O le susceptor o se vaega taua i le faagasologa o le MOCVD ma e aʻafia ai le lelei ma le lelei o le teuina o ata manifinifi. Mo nisi faʻamatalaga i luga ole lapopoa avanoa, MOCVD susceptors ma tau, faʻamolemole aua le faʻatuai e faʻafesoʻotaʻi matou. O le a fiafia a matou inisinia e fautuaina oe i mea talafeagai ma tali au fesili uma.

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