2. Fa'agasologa Fa'ata'ita'i
2.1 Fa'amalologa o Ata Fa'apipi'i
Na matauina o le faia sa'o o se ata kaponi po'o le fa'apipi'iina o pepa graphite i lugaSiC wafersfaʻapipiʻiina i le faʻapipiʻi na mafua ai le tele o faʻafitauli:
1. I lalo o tulaga gaogao, o le ata faapipii i lugaSiC wafersfa'atupuina foliga fa'a fua ona o le tele o le fa'asa'olotoina o le ea, ma fa'atupuina ai le porosity luga. O le mea lea na taofia ai le fa'apipi'i lelei o papa fa'apipi'i pe a mae'a le fa'asao.
2. I le taimi o le fusia, o lewafere tatau ona tuu i luga o le pepa kalafi i le taimi e tasi. Afai e toe fa'atulagaina, o le mamafa le tutusa e mafai ona fa'aitiitia ai le tutusa o le pipii, ma a'afia ai le lelei o le so'oga.
3. I galuega gaogao, o le tuʻuina atu o le ea mai le mea faʻapipiʻi na mafua ai le paʻu ma le faʻavaeina o le tele o gaogao i totonu o le ata faʻapipiʻi, e mafua ai le faʻalavelave faʻapipiʻi. Ina ia foia nei mataupu, muai faamago le mea faapipii i luga o leo le wafer'sfa'apipi'i i luga e fa'aaoga ai se ipu vevela pe'a uma ona fa'avili fa'apipi'i e fautuaina.
2.2 Fa'agasologa o le Carbonization
O le faagasologa o le fatuina o se ata kaponi i luga o leSiC fatu waferma fa'apipi'i i le pepa kalafi e mana'omia ai le fa'asaoina o le fa'apipi'i i se vevela fa'apitoa e fa'amautinoa ai le pipii mau. O le le atoatoa o le carbonization o le faʻapipiʻi faʻapipiʻi e mafai ona taʻitaʻia ai lona pala i le taimi o le tuputupu aʻe, faʻasaʻolotoina mea leaga e aʻafia ai le maualuga o le tuputupu aʻe tioata. O le mea lea, o le fa'amautinoaina o le atoatoa o le carbonization o le fa'apipi'i fa'apipi'i e taua tele mo so'oga maualuga. O lenei su'esu'ega e su'esu'e ai le a'afiaga o le vevela i le fa'apipi'i carbonization. O se vaega tutusa o photoresist na faʻaaogaina i lewaferluga ma tuu i totonu o se ogaumu faagaau i lalo ole vacuum (<10 Pa). O le vevela na siitia i tulaga faatulagaina (400 ℃, 500 ℃, ma le 600 ℃) ma tausia mo le 3-5 itula e ausia ai le carbonization.
Fa'ata'ita'iga na fa'aalia:
I le 400 ℃, ina ua maeʻa le 3 itula, o le ata faʻapipiʻi e leʻi carbonize ma foliga lanu mumu; e leai se suiga taua na matauina pe a uma le 4 itula.
I le 500 ℃, ina ua mavae le 3 itula, na liua le ata tifaga ae o loʻo faʻasalalau pea le malamalama; leai se suiga taua pe a uma le 4 itula.
I le 600 ℃, ina ua maeʻa le 3 itula, na liua le ata tifaga e aunoa ma se moli moli, e faʻaalia ai le carbonization atoatoa.
O le mea lea, o le vevela faʻapipiʻi talafeagai e tatau ona ≥600 ℃.
2.3 Fa'asologa o Talosaga Fa'apipi'i
O le tutusa o le ata faʻapipiʻi o se faʻailoga taua mo le iloiloina o le faʻaogaina o le faʻaogaina o le faʻapipiʻi ma faʻamautinoaina se faʻapipiʻi tutusa. O lenei vaega o lo'o su'esu'eina le saosaoa sili ona lelei o le taamilo ma le taimi e fa'apipi'i ai mo mafiafia ata fa'apipi'i eseese. Le tutusa
u o le mafiafia ata tifaga ua faauigaina o le fua faatatau o le mafiafia ata tifaga aupito maualalo Lmin i le mafiafia ata tifaga aupito maualuga Lmax i luga o le vaega aoga. E lima togi i luga o le wafer na filifilia e fua ai le mafiafia o ata, ma sa fuafuaina le tutusa. O le ata 4 o lo'o fa'aalia ai le fuaina.
Mo so'otaga maualuga i le va o le SiC wafer ma vaega graphite, o le mafiafia ata fa'apipi'i sili e 1-5 µm. Na filifilia se mafiafia ata e 2 µm, e fa'atatau i tapenaga ata tifaga kaponi ma faiga fa'apipi'i pepa wafer/graphite. Ole pito sili ona lelei ole vili fa'apipi'i mo le fa'apipi'i carbonizing e 15 s ile 2500 r/min, ma mo le fa'apipi'i fa'apipi'i, 15 s ile 2000 r/min.
2.4 Fa'agasologa Fa'amau
I le taimi o le faʻapipiʻiina o le SiC wafer i le pepa graphite / graphite, e taua tele le faʻaumatia atoa o le ea ma kasa faʻasolosolo na gaosia i le taimi o le carbonization mai le faʻapipiʻi. Le fa'a'ato'a fa'ate'aina o le kasa e maua ai gaogao, e o'o atu ai i se vaega e le mafiafia. O le ea ma kasa faʻaola e mafai ona faʻaaogaina e faʻaaoga ai se pamu suauu masini. I le taimi muamua, o le faʻaauau pea o le faʻaogaina o le pamu masini e faʻamautinoa ai le oʻo atu o le potu gaogao i lona tapulaʻa, faʻatagaina le aveeseina atoa o le ea mai le faʻamau faʻapipiʻi. O le si'itia vave o le vevela e mafai ona taofia ai le fa'amuta o le kasa i le taimi o le carbonization maualuga-vevela, ma fa'atupu ai le gaogao i totonu o le fa'apipi'i. O mea fa'apipi'i e fa'ailoa mai ai le fa'amama tele i le ≤120 ℃, fa'amautu i luga a'e o lenei vevela.
O le mamafa i fafo e faʻaaogaina i le taimi o le faʻapipiʻiina e faʻaleleia ai le mamafa o le ata faʻapipiʻi, faʻafaigofie le faʻateʻaina o le ea ma kasa oona, e maua ai se faʻamaufaʻailoga maualuga.
I se aotelega, o le faʻasologa o faʻagasologa faʻapipiʻi o loʻo faʻaalia i le Ata 5 na atiaʻe. I lalo o le mamafa faʻapitoa, o le vevela e faʻaeʻe i le vevela e alu i fafo (~ 120 ℃) ma taofi seia maeʻa le faʻamalo. Ona fa'atupuina lea o le vevela i le vevela carbonization, tausia mo le umi mana'omia, soso'o ai ma le fa'amalieina fa'anatura i le vevela o le potu, fa'amalo fa'amalosi, ma le aveeseina o le fa'amau fa'apipi'i.
E tusa ai ma le vaega 2.2, o le ata pipii e manaʻomia le carbonized i le 600 ℃ mo le silia ma le 3 itula. O le mea lea, i le faʻasologa o le faʻaogaina o le faagasologa, ua seti T2 i le 600 ℃ ma le t2 i le 3 itula. O tau sili ona lelei mo le faʻaogaina o le faʻaogaina o le faʻaogaina, faʻamoemoeina e ala i suʻesuʻega faʻasolosolo e suʻesuʻe ai aʻafiaga o le mamafa o le fusi, taimi faʻavevela muamua t1, ma le taimi faʻavevela lona lua t2 i taunuʻuga faʻapipiʻi, o loʻo faʻaalia i le Siata 2-4.
I'uga fa'ailoa:
I le mamafa o le fusifusia o le 5 kN, o le taimi faʻavevela e itiiti sona aʻafiaga i le fusia.
I le 10 kN, o le vaega gaogao i totonu o le faʻamau faʻapipiʻi na faʻaititia ma le umi o le faʻamafanafanaina muamua.
I le 15 kN, o le faʻalauteleina o le faʻamafanafanaina muamua na faʻaitiitia ai avanoa, ma iu ai ina faʻaumatia.
Ole a'afiaga ole taimi fa'avevela lona lua ile so'oga e le'i fa'aalia ile su'ega fa'asolosolo. O le faʻapipiʻiina o le mamafa o le fusifusia i le 15 kN ma le taimi muamua o le faʻamafanafanaina i le 90 min, o le taimi faʻavevela lona lua o le 30, 60, ma le 90 min na iʻu uma i le leai o se faʻaogaina o faʻamau faʻapipiʻi, e faʻaalia ai le taimi faʻavevela lona lua. itiiti a'afiaga i so'oga.
O tulaga sili ona lelei mo le faʻaogaina o le faʻaogaina o le faʻaogaina o le mamafa o le 15 kN, taimi muamua faʻavevela 90 min, tulaga muamua vevela 120 ℃, taimi faʻavevela lona lua 30 min, lona lua-vaega vevela 600 ℃, ma le taimi lona lua taofi. 3 itula.
Taimi meli: Iuni-11-2024